CM300xi-ULN探针台的独特之处
cm300xi-uln探针台的独特之处：
晶圆上噪声测试的新黄金标准——cm300xi-uln探针台
pureline 3技术消除97%的环境噪声
利用testcell电源管理消除接地回路引起的噪声
在这篇文章中，我们将涵盖实现高吞吐量闪烁噪声测量。闪烁和rtn噪声测试可能需要很长时间，尤其是在测量频率低至1 hz或更低的情况下。单一温度下的扫描时间通常长达30分钟。器件模型的标准数据采集需要在多个温度下在小衬垫上的dut数据。
为了降低测试成本(cot)，并显著提高晶圆上测试吞吐量，可以使用四种不同的方法将自动化添加到测试设置中：
自动上料
用于小pad接地优化的电动探针座
自动探针与pad对准、变温测量
多dut自动测量
针对方法1，可以使用标准生产探针台来提高数据收集吞吐量，但这些探针台是专为高速生产测试而设计，而不是高精度闪烁噪声测量。探针台噪声严重影响了最终数据的准确性。
针对方法2、3和4，需要显著的技术发展——光学、机械和软件——来摆脱缓慢的手动探针定位。
在所有情况下，重要的是要注意，自动化方法不可通过向探测环境中添加或传输不需要的噪声来损害testcell的低噪声性能。这是添加非优化温控、硬件和电子模块的传统方法的常见问题。
将我们的自动dc测量助手添加到cm300xi-uln测量系统中，为工程师和实验室人员设置闪烁噪声测试创造了一个范例转变。现在可为半自动或全自动cm300xi-uln系统设置一个高吞吐量testcell，提供完全自动的24/7运行。
自动dc测量助手将电动探针座与最先进的图像处理技术相结合，可随时获得高度可靠的测量数据。其支持小pad接地优化、多种不同温度下的自动测试以及测试sub-die的自动探针定位。所有功能均经过优化，以确保超低噪声性能不受影响。
测量软件可以轻松调用单dut和多dut探针布局，实现完全自动化。自动dc测量助手负责所有复杂的变温管理，以及探针对准pad(ptpa)的热稳定时间优化。其结果是超低噪声测量，在低至30um pad上实现小的接触电阻，适用于任何闪烁噪声建模和扩展的温度区间(-55至200℃)，涵盖晶圆上的所有裸片和所有晶圆。
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