大行程三维精密压电平台的特点及参数
大行程三维精密压电平台
p12.xy500z800为大行程xyz三维运动扫描台，平台采用机构放大设计原理，中心具有通孔，非常适用于近场扫描、共焦显微等应用。该系列扫描台xy轴程可达500μm，z轴直线运动行程可达800μm。
中心通孔适配器为标准螺纹牙w0.8×1/36“，便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。平台内部采用有限元分析（fea）优化的线切割挠曲铰链结构。fea使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动最小化。开环、闭环可选，真空版本可选。
特点
xyz三维直线运动
xy行程500μm，z向行程800μm
适用于物镜的三维定位调节
可定制真空版本
开闭环曲线
p12.xy500z800 xy轴电压位移开闭环曲线。
技术参数
型号：p12.xy500z800
运动自由度：xyz
xy轴行程范围（0~150v）：500μm/轴
z轴行程范围（0~150v）：800μm
闭环传感器类型：sgs
xy轴闭/开环分辨率：20/5nm
z轴闭/开环分辨率：30/8nm
xy轴静电容量：28.8μf/轴
z轴静电容量：43.2μf
承载能力：250g
重量：1000g（不含线）
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技术参数
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