三星EUV技术成功应用于DRAM生产
据zdnet报道，三星宣布，已成功将euv技术应用于dram的生产中。
三星已经出货了100万个使用euv工艺制造的10nm级ddr4 dram模块，并得到了客户的评估。三星表示，评估工作完成后，将为明年大规模生产新的dram铺平道路。
三星在平泽工厂的euv专用v2生产线将于下半年开始生产dram模块。该生产线预计将生产4代10nm级ddr5和lpddr5。
这是平泽工厂除7nm逻辑芯片外又一使用euv技术生产的芯片，三星称，euv技术将使其单个12英寸晶圆的生产效率提升一倍。
三星、英特尔和台积电等全球半导体制造商预计都将扩大euv技术在芯片生产中的应用。三星此前曾表示，计划利用euv技术生产3nm芯片。
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