ASML将在2019年推出产能更高的新型号TwinscanNXE

2017年出货11台,2018年出货18台,asml(阿斯麦)上周表示,计划在2019年出货30台euv光刻机。
目前,asml占有全球光刻机市场70%的份额,远远领先尼康。更重要的是,仅荷兰asml有能力制造和出货euv光刻机,尼康的最高技术水平还停留在arf氟化氩沉浸式光刻机。
与此同时,asml将在2019年推出产能更高的新型号twinscan nxe: 3400c,取代现款售价1.2亿美元(约合8亿)的twinscan nxe: 3400b。3400c的每小时晶圆雕刻能力从155片提升至170片,换装cymer公司的340w光源。
资料显示,截至去年7月,全球各公司、研究机构等总共仅安装了31台euv光刻机。不过,遗憾的是,迄今,大规模使用euv(极紫外光刻)技术的先进工艺仍未量产,三星7nm lpp理论上进度最快,但当下仅限于在s3工厂小规模投产,年底位于韩国华城、投资6万亿韩元(约合362亿元)的工厂竣工后,将是三星7nm euv主力厂。
另外,台积电的第二代7nm也将在非关键步骤上采用euv技术,intel、sk海力士也都对euv光刻机有强烈需求。

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