探究美泰电子RFMEMS器件

美泰电子科技有限公司
美泰电子科技有限公司是中国mems行业协会理事长单位。专门致力于mems(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的mems高端核心芯片、器件和系统产品供应商,中国mems技术领导者。主要产品有mems惯性器件与系统、mems测试测量传感器、mems压力传感器芯片、汽车mems传感器、射频(rf)mems器件、光mems器件等。
公司拥有国际先进水平的6英寸mems工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。
rf mems 器件
全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、tsv(硅通孔)等mems技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能,低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50ghz,具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。
1、mems 环行器
特点
硅腔体结构,体积超小
高功率容量
50ω微带共面波导输出,键合使用
频率:12~40ghz
mems工艺,精度高,一致性好
可按要求加工定制
环境参数
工作温度:-55~+85°c
储存温度:-55~+125°c
典型应用
雷达、航天航空、微波通信
2、mems 隔离器
特点:
硅腔体结构,体积超小
高功率容量
50ω微带/共面波导输出,键合使用
频率:12~40ghz
mems工艺,精度高,一致性好
可按要求加工定制
环境参数
工作温度:-55+85°c
储存温度:-55+125°c
典型应用
雷达、航天航空,微波通信
3、mems 硅腔滤波器
特点:
硅基mems工艺,体积小、重量轻
频率:2~50ghz
高性能、全屏廠、抗干扰、微波性能好
裸芯片,50ω共面波导输出,键合使用
带通、带阻、低通、高通
指标一致性好,适合批产
环境参数
工作温度:-55~+85°c
贮存温度:-55~+125°c
平均功率:≤3w(连续波)
典型应用
雷达、航天航空,电子系统
4、微集成 lc 滤波器
特点:
硅基mems微纳米技术
命体积小、成本低
加厚介质膜工艺,防静电能力强、可靠性高
可键合、表贴使用,满足用户不同安装要求
加工周期短,部分取代ltcc产品
较mmic产品有更高q值
环境参数
工作温度:-55~+85°c
贮存温度:-55~+125°c
平均功率:1wmax@25°c
电性能规范
中心频率:0.5-20ghz
健合型微集成lc法
1db分数带宽:10-100%
vswr: 16.1 :1
特性阻抗:50ω


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