euv光刻机目前几纳米 中国5纳米光刻机突破了吗
大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰asml的euv光刻机，那么euv光刻机目前几纳米呢？
到现在，世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰asml的极紫外光刻机（euv），这个是当前世界顶级的光刻机设备。
在芯片加工的时候，光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩模传输光束。
光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等多项先进技术。是半导体行业技术含量最高的设备。
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