TMD：半导体先进工艺研发的果实
听过tmd (transition metal dichalcogenides；过渡金属二硫属化物)吗？5年前我也没有听过。现在是半导体先进工艺研究的当红炸子鸡，晶圆厂的先进集成工艺研发组织中现在纷纷加入此一题目研究小组，就如同之前的mram、第一原理计算(first principles calculation)、硅光子、量子点等现在都也加入先进集成工艺研发的范畴，而这些从来不是过去半导体工艺研发的传统选项。
tmd材料的单位晶格包括一个过渡金属原子，如钼(molybdenum)、钒(vanadium)等；硫属指周期表硫那一栏的元素，譬如硫(sulfur)、硒(selenium)、碲(tellurium)等。一个过渡金属原子与两个硫属元素原子所组成的分子就叫tmd，如二硫化钼(mos2)、二硒化钒(vse2)等。
tmd变得有趣是石墨烯(graphene)出现后的事。石墨烯是二维材料，就是材料只有一层分子，后来发现原来是三维材料的tmd也容易组成二维材料。并且因为维度下降，有许多过去在三维时不易出现的有趣性质也一一浮现。
tmd在半导体先进工艺出现的原因还是因为晶体管漏电流的老问题。工艺越微缩、源极和漏极中间的通道越短，即使在栅极不加电压的状况下，也会有电流通过，这会产生能耗和讯号错误等一大堆问题。晶体管开、关状态的差别不明显，用术语来说，就是开关比(on-off ratio)太低。解决问题的方法之一是缩小通道的截面积，截面积再小小不过二维材料－它的截面积只是一条线，所以tmd材料就浮现在半导体工艺研发的雷达中。
现在先导入半导体的是二硫化钼，电子于其中机动性(mobility)高，做为晶体管通道开关比也高。而且由于其表面与其它物质之间只存有微弱的凡德瓦力，不像硅和二氧化硅的接口中还存有悬空键(dangling bond)，流经的电子会陷入这悬空键中。
石墨烯是2004年发现的，2010年刚得诺贝尔奖，迄今不过10来年，二维tmd的发现当然更迟。我3、4年前开始做这方面的研究，现在这题目仍是研究前沿的领域，但是产业现在也将其放入短期研发的焦点领域之中，科学与科技的界限变模糊了。
这状况让我想起一件事。两年前我带了一位世界级科研机构领导人去拜访国内的对应研究机构。当讨论到一项先进技术时，他突然噤声，他随后解释说，他和三星签有合作合约，没法子谈。面临现在半导体技术极端逼近科学研究前沿时，三星早已改变了他们研发资源配置的方式，我们准备好了吗？
石英振荡器热拍频率的产生
Mouser与CUI签订全球分销协议，进一步壮大Mouser产品阵营
抢票：2018年不容错过的世界人工智能大会
哪些因素会导致人工智能AI项目的失败？
脉冲袋式除尘器专用脉冲阀使用及注意事项
TMD：半导体先进工艺研发的果实
瘦肉精快速检测仪的主要参数
扬尘监测设备在线联网，让工地管理更加精细化
Vitesse为云端商业服务提供电信级网路效能
ADAYO华阳集团座舱域控制器满足车厂客户不同车型的定制化需求
小米5X与小米5C对比评测：外观、配置、性能、续航、跑分对比分析那个更好？
嵌入式软件可靠性设计需注意以下四个方面的问题！
如何识别变压器的输入侧和输出侧
碳化硅在电力电子器件中的优势和应用
三星新一代折叠屏手机GalaxyF将于2月20日发布 首批只会制造100万部
无功补偿柜常见故障
9颗已经运作16.1万小时的DMD，来自TI
iOS 11已经是过去式,苹果开启了iOS 12宣传
三大运营商为布局5G正式公布了边缘计算发展计划
我国的智能制造还有什么技术困难没有突破
tmd材料的单位晶格包括一个过渡金属原子，如钼(molybdenum)、钒(vanadium)等；硫属指周期表硫那一栏的元素，譬如硫(sulfur)、硒(selenium)、碲(tellurium)等。一个过渡金属原子与两个硫属元素原子所组成的分子就叫tmd，如二硫化钼(mos2)、二硒化钒(vse2)等。
tmd变得有趣是石墨烯(graphene)出现后的事。石墨烯是二维材料，就是材料只有一层分子，后来发现原来是三维材料的tmd也容易组成二维材料。并且因为维度下降，有许多过去在三维时不易出现的有趣性质也一一浮现。
tmd在半导体先进工艺出现的原因还是因为晶体管漏电流的老问题。工艺越微缩、源极和漏极中间的通道越短，即使在栅极不加电压的状况下，也会有电流通过，这会产生能耗和讯号错误等一大堆问题。晶体管开、关状态的差别不明显，用术语来说，就是开关比(on-off ratio)太低。解决问题的方法之一是缩小通道的截面积，截面积再小小不过二维材料－它的截面积只是一条线，所以tmd材料就浮现在半导体工艺研发的雷达中。
现在先导入半导体的是二硫化钼，电子于其中机动性(mobility)高，做为晶体管通道开关比也高。而且由于其表面与其它物质之间只存有微弱的凡德瓦力，不像硅和二氧化硅的接口中还存有悬空键(dangling bond)，流经的电子会陷入这悬空键中。
石墨烯是2004年发现的，2010年刚得诺贝尔奖，迄今不过10来年，二维tmd的发现当然更迟。我3、4年前开始做这方面的研究，现在这题目仍是研究前沿的领域，但是产业现在也将其放入短期研发的焦点领域之中，科学与科技的界限变模糊了。
这状况让我想起一件事。两年前我带了一位世界级科研机构领导人去拜访国内的对应研究机构。当讨论到一项先进技术时，他突然噤声，他随后解释说，他和三星签有合作合约，没法子谈。面临现在半导体技术极端逼近科学研究前沿时，三星早已改变了他们研发资源配置的方式，我们准备好了吗？
石英振荡器热拍频率的产生
Mouser与CUI签订全球分销协议，进一步壮大Mouser产品阵营
抢票：2018年不容错过的世界人工智能大会
哪些因素会导致人工智能AI项目的失败？
脉冲袋式除尘器专用脉冲阀使用及注意事项
TMD：半导体先进工艺研发的果实
瘦肉精快速检测仪的主要参数
扬尘监测设备在线联网，让工地管理更加精细化
Vitesse为云端商业服务提供电信级网路效能
ADAYO华阳集团座舱域控制器满足车厂客户不同车型的定制化需求
小米5X与小米5C对比评测：外观、配置、性能、续航、跑分对比分析那个更好？
嵌入式软件可靠性设计需注意以下四个方面的问题！
如何识别变压器的输入侧和输出侧
碳化硅在电力电子器件中的优势和应用
三星新一代折叠屏手机GalaxyF将于2月20日发布 首批只会制造100万部
无功补偿柜常见故障
9颗已经运作16.1万小时的DMD，来自TI
iOS 11已经是过去式,苹果开启了iOS 12宣传
三大运营商为布局5G正式公布了边缘计算发展计划
我国的智能制造还有什么技术困难没有突破