TCS208F新型热导传感器

tcs208f不同于热流量传感器,它不是通过气体的流动,而是通过气体的扩散作用。气体先进入传感器中图气室(底部)的微型气腔(体积大约为100gl),然后气体通过扩散作用进入上部的气室(体积大约为0.2/~l),也就是真正的热导率测量区域。与传统的tcd检测相比,由于使用了mems结构,使得我们不用花费大量的时问去设计 l级容积的热导池,且tcs208f加入了良好隔离材料进行电热隔离,传感器中气体系统能快速平衡,受环境影响减小,从而保证了测量的灵敏度与准确度。
由于从传感器中得到的信号极其微弱,使得有用的被测信号被大量的噪声所淹没,因此必须采用有效措施抑制噪声,恢复、增强和提取有用的信号,提高信噪比。系统内部噪声主要包括:散粒噪声、热噪声、1/f噪声。其中散粒噪声和热噪声属于白噪声。在信号进入放大器前我们加人了rc低通滤波器,这种滤波器能抵制高频干扰信号,但对低频干扰信号的滤波效果较差,而数字滤波器却可对极低频率的干扰信号进行数学处理,减少干扰信号在有用信号中的比重,提高信噪比,且不需增加硬件。数字滤波的方法很多,根据实际情况,我们使用数字平滑滤波。平滑滤波法主要用于消除附在信号上的白噪声。叠加在有用信号数据上的随机噪声,在很多情况下可以近似认为白噪声。白噪声有一个重要统计特性即其统计平均值为零,因此常采用平均值的方法来消除随机误差。
此外,硬件上还采取了以下措施减少噪声干扰:mems传感器输出接口使用屏蔽线,模拟电路部分单独供电;布线上加粗电源线和地线宽度,并在电源输出端和信号的模拟输入端加上高质量的去耦电容。

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