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功率半导体是电子装置中电能转换与电路控制的核心,主要用于改变电子装置中电压和频率、直流交流转换等,是电子装置中电能转换与电路控制的核心。功率半导体器件种类众多,按集成度可分为功率ic、功率模块和功率分立器件三大类,其中功率分立器件中mosfet、功率二极管、igbt占比较大,是最主要的品类。
绝缘栅双极晶体管(insulated gate bipolar transistor,igbt)是在金属氧化物场效应晶体管(mosfet)和双极晶体管(bipolar)基础上发展起来的一种新型复合功率器件,具有mos输入、双极输出功能。igbt集bipolar器件通态压降小、载流密度大、耐压高和功率mosfet驱动功率小、开关速度快、输入阻抗高、热稳定性好的优点于一身。作为电力电子变换器的核心器件,为应用装置的高频化、小型化、高性能和高可靠性奠定了基础。
igbt功率模块的发展趋势主要有:
1.更高的功率密度:随着技术的发展,igbt功率模块的功率密度将不断提高;
2.更低的功耗:随着技术的发展,igbt功率模块的功耗将不断降低;
3.更高的可靠性:随着技术的发展,igbt功率模块的可靠性将不断提高;
4.更低的成本:随着技术的发展,igbt功率模块的成本将不断降低。
自igbt商业化应用以来,作为新型功率半导体器件的主型器件,igbt在1—100khz的频率应用范围内占据重要地位,其电压范围为600v—6500v,电流范围为1a—3600a(140mm x 190mm模块)。igbt广泛应用于工业、4c(通信、计算机、消费电子、汽车电子)、航空航天、国防军工等传统产业领域以及轨道交通、新能源、智能电网、新能源汽车等战略性新兴产业领域。
多功能型的大功率 igbt 驱动保护电路除了提供直接驱动 igbt 的功能之外,还可以提供 完善的保护功能,如 hcpl-316j, m57962 等,如图 2和图 3所示,它们一般采用混合厚膜 封装技术或者采用集成封装技术, 可以直接兼容 cmos/ttl 电平。工程师进行设计时一般只需 要配上隔离电源电路,死区控制电路,逻辑处理电路,门极驱动电阻等,就可以成为一个较 为完整的大功率 igbt 驱动保护电路。
目前,世界各大功率半导体公司对igbt的研发热潮日益高涨,研究步伐和技术革新日益加快,igbt芯片的设计与生产厂家有英飞凌(infineon)、 abb、三菱(mitsubishi electric)、dynex(中国南车,csr)、ixys corporation、international rectifier、powerex、philips、motorola、fuji electric、hitachi、toshiba等,主要集中在欧、美、日等国家。因为种种原因,国内在igbt技术研究开发方面虽然起步较早,但进展缓慢,特别是在igbt产业化方面尚处于起步阶段,作为全球最大的igbt应用市场,igbt模块主要依赖进口。
目前 igbt 的开通电压一般采用+15v 电压源驱动, 有人已经提出发展恒流源驱动的方法, 认为可以克服 igbt 的“米勒”电容效应,使 igbt 的导通更加可靠.igbt 的关断电压从最初的 0 v,到后来的-7v 左右,低频下普遍使用-15v.
商用igbt的体结构设计技术的发展经历了从穿通(punch through,pt)到非穿通(non punch through,npt),再到软穿通(soft punch through,spt)的过程,而在穿通结构之前,igbt的体结构是基于厚晶圆扩散工艺的非穿通结构,背部空穴的注入效率很高,由于器件内部的寄生晶闸管结构,igbt在工作时容易发生闩锁,因此很难实现商用。随着外延技术的发展,引入了n型缓冲层形成穿通结构,降低了背部空穴注入效率,并实现了批量应用,但由于外延工艺的特点,限制了高压igbt的发展,其最高电压等级为1700v。
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