一维X向运动压电平台P66A.X30的特性、应用及参数
p66a.x30为一维x向运动压电平台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化结构设计。机构采用放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现38μm范围内的纳米级位置调整。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。平台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。
特性
• 一维x向运动
• 行程达38μm
• 承载力达100g
• 可选闭环版本、真空版本
典型应用
• 纳米级精密位置调整
• 扫描显微
• 微操作
• 纳米定位/测量
• 微加工
高动态 高精度
p66a.x30为小体积高精度运动平台，特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计，内置高可靠性压电陶瓷，实现纳米级精度调整，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000hz，满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。
技术参数
型号：p66a.x30
运动自由度：x
标称行程范围（0~120v）：30μm
行程范围（0~150v）：38μm
闭环传感器类型：sgs
闭/开环分辨率：10/5nm
闭环线性度：0.1%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
推/拉力：200/10 n
运动方向刚度：10n/μm
空载谐振频率：2000hz
闭/开环空载阶跃时间：5/1.5ms
承载能力：100g
静电容量：3.6μf
台体材料：铝
电缆长度：1.5m
推荐控制器
p66a.x30压电纳米定位台为一维x向运动机构，可配套芯明天单通道压电控制器，实现精密运动控制。
e01.d1
lcd，薄膜按键， 可达625ma
rs-232/rs-422/usb通信
软件可二次开发
e53.d
小体积，60ma
rs-232/rs-422/usb通信
软件可二次开发
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