9812DX低频噪声测试系统产品介绍
9812dx作为单一完整的低频噪声测试系统，支持多种半导体器件类型在各种工作条件下（如200v高压、10pa极低电流等）的高精度噪声测试。通过低频噪声测试，可以帮助芯片制造厂检测和排除工艺制造缺陷，确保芯片质量符合预期，提高芯片稳定性。
晶圆级噪声测试精度和高测试带宽，最低测试噪声的电流精度低至10-27a2/hz。
典型噪声测试速度提高至一个偏置条件仅需20s、最高测试电压提高到200v。
通过并行测试架构解决方案以及协同fs-pro半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。
用于28/14/10/7/5/3nm等各工艺节点的先进工艺研发和高端集成电路设计。
内置功能强大的noiseproplus软件，支持1/f噪声、rtn噪声测试和数据分析。
产品亮点：
行业黄金标准：全球半导体行业低频噪声测试“黄金标准”系统
广泛采用：已被众多行业领先半导体公司所采用的标准测试系统
并行测试：经头部客户验证的高精度、高测试吞吐率并行测试能力
宽量程：晶圆级高精度和测试带宽宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围
系统架构：系统体系架构经行业认可并不断完善兼具高精度和可靠性
覆盖广泛：同时覆盖从10ω到10mω的高阻抗器件和低阻抗器件测试能力
技术参数：
宽量程： 最大器件端电压和电流 : 200v, 200ma
高精度： 最高 dc 电流精度 : 10pa、 系统噪声电流精度 : <10-27a2 /hz
测试速度：典型 1/f 噪声测试速度可达 10 秒 /bias
抗阻范围：阻抗匹配范围 : 10Ω-10 mΩ gate/base
电阻多达 16 个选择
drain/collector 电阻多达 15 个选择
系统参数： 电压放大器：0.03-10mhz, 0.65nv/hz(@5khz)
电流放大器：0.03-1mhz, 0.7pa/ hz(@5khz)
宽带电流放大器：0.03-10mhz, 5pa/ √hz (@5khz)
高精度电流放大器：0.03-20khz, 60fa/ √hz (@5khz)
可编程偏置滤波器 、esd 保护
内置 16 位 dsa
支持多台并行测试
产品应用：
先进工艺质量/工艺评估和品质监控
低频噪声特性测试和噪声数据分析
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通过并行测试架构解决方案以及协同fs-pro半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。
用于28/14/10/7/5/3nm等各工艺节点的先进工艺研发和高端集成电路设计。
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高精度电流放大器：0.03-20khz, 60fa/ √hz (@5khz)
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