MEMS(微机电系统检测及失效分析
mems（微机电系统）元件的失效机制从本质上讲和与之相对应的宏观（肉眼可见）元件，具有很大差别并且是独特的。本文讨论从各种mems元件中观测到的失效机制。需要强调的是，mems装置的组装使用散装表面显微加工工艺。
许多类型的mems组件使用在各种各样的应用领域。这些装置不同于他们的分立元器件或者对应的集成电路，具有新的失效机制，这些失效机制不会发生在传统集成电路或者分立元件上。大多数mems装置都非常小，以至于它们的表面积与体积比非常高（从1000：1~10000:1）。为了把这些当前已经广泛应用和正在发展的mems装置进行合适的分类,一个常规的分类方法已经基本成熟。这个分类法基于设计的复杂程度，在很大程度上讲，基于操作的复杂程度。这些装置分类如下：
1）、一类、装置没有运动部分。 本类包括，加速计组件、压力传感器、打印头油墨喷嘴、应力应变仪。
2）、二类、装置结合了运动部件，但他们之间没有摩擦或者没有碰撞。包括，陀螺仪、梳理驱动器、谐振器、滤波片。
3）、三类、结构包含带有运动碰撞表面。包括继电器、泵阀门。
4）、四类、结构包含带有摩擦和碰撞表面的运动元件。包括 百叶门窗，扫描器、微锁机构、可视开关。
不管是那种制造工艺制造的mems,其设计和功能也一定是这四类之一。mems的每一类都有与之相关的失效机制。
mems机械结构示意图
一类的失效机制：颗粒污染，和粘滞作用。
颗粒污染扫描电镜照片
粘滞作用，扫描电镜照片
二类失效机制
扫描电镜照片：多晶硅梳子结构，应力集中导致裂纹。 微裂纹扫描电镜照片
梳子结构粘滞失效 扫描电镜照片
三类失效机制：
微继电器 扫描电镜低倍照片
4μm镀金触头，高倍照片
经过几十万次接触碰撞后，失效， 扫描电镜高倍照片，20000倍
四类失效机制
扫描电镜照片：微凸轮机构磨损，颗粒 摩擦表面失效，高倍扫描电镜照片，30000倍
扫描电镜照片：静电放电制动损伤 制动损伤 扫描电镜照片
小结：没有任何其他的微观检测仪器，可以和扫描电镜相提并论。微纳科技因为有了电子显微镜才得以发展，电子显微镜为微纳科技而存在。扫描电镜已经成为微纳米科技的显微分析，或者显微操作平台。
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3）、三类、结构包含带有运动碰撞表面。包括继电器、泵阀门。
4）、四类、结构包含带有摩擦和碰撞表面的运动元件。包括 百叶门窗，扫描器、微锁机构、可视开关。
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