禁运不断加码,ASML***中国销量却在飙升

到2023年底,asml在中国的***加上量测机台总数已接近1400台。  这似乎让人意外。美国对华芯片出口管制步步紧逼,受到波及的荷兰***巨头asml(阿斯麦 nasdaq:asml)却在中国录得业绩新高。
中国大陆地区的营收在asml全球收入结构中占比一直在10%-20%之间,2023年这一占比持续飙升。asml财报显示,2023年一季度中国大陆地区营收占比为8%,二季度为24%,三季度骤增至46%。2023年前三季度,中国大陆从asml采购了52.8亿欧元(403亿元人民币)的***设备,这一数字约为2022年asml在中国全年销售额的两倍。
11月5日,asml全球副总裁、中国区总裁沈波在进博会上接受媒体采访时透露,到2023年底,asml在中国的***总数将接近1400台。
光刻是芯片制造的重要环节。以光源波长划分,***分为uv(紫外线)、duv(深紫外线)、euv(极紫外线),理论上7纳米及以下的先进芯片制程工艺只能通过euv实现。
asml是全球最大的***制造商,也是唯一的euv***供应厂商。有观点认为,asml的技术能力事实上成为了半导体工业扩张的瓶颈。中国的芯片制造想更快突破先进制程,获得asml的先进***是关键。
如台积电一样,受制于地缘政治,asml也不能完全按照商业逻辑运转,中国大陆无法购买asml最先进的euv***,14nm以下制程的国内产线主要依赖于duv***。
2023年9月1日,荷兰的《先进半导体制造设备法规》生效。除了euv设备之外,荷兰还将部分先进制程所需的duv产品——twinscan nxt:2000i及后续推出的关键浸润式duv系统加入管制。
10月17日,美国再次升级对华芯片制裁,影响asml目前能对中国出口的最先进的***nxt1980di。
中国大陆想从asml获得先进***,越来越难了。
但asml的中国业务为什么会在第三季度飙升到新高?这种增长能持续多久?2024年,中国还能够从asml买到先进制程所需的***吗?
asml在中国卖什么产品?
asml的产品种类可以分为i-line、krf、arf干法、arf浸没式和euv。
euv***主要对应制程在7nm以下,也是国内一直无法获得的产品。受到中国客户关注的主要产品是duv***,型号包括xt1900以及nxt系列,其中nxt又分为比较成熟的nxt1980和相对先进的nxt2000/2050/2100,对应制程约在38nm以下。
相同型号的***也会有细分分类,比如nxt 1980系列中也区分ei、di、fi等版本,这种分类主要差异在于单位产能和套壳精度上的区别,覆盖制程没有太大区别。
***售价昂贵,无论是euv还是duv***,一台售价都在1亿美元以上。
asml在2021年投资者日公布的一份文件显示:“关键浸润式duv”包括了nxt2000i、nxt2050i和nxt2100i三个型号,而“中高端浸润式duv”(mid-cirtical)包括了nxt1980di,在研的nxt1980ei和nxt1980fi。其中,前三款产品中国已经无法买到。荷兰政府颁布的《半导体设备出口管制新规》在今年9月1日生效后,asml发运twinscan nxt2000i及后续推出的浸润式光刻系统都必须获得荷兰当局的许可。经过asml与荷兰政府的沟通,荷兰政府允许asml今年继续发运9月1日前已下单客户的twinscan nxt2000i及后续推出的浸润式光刻系统。但是自2024年1月1日起,asml将基本不会获得向中国客户发运对华出口这些产品的出口许可证。这些产品将事实上对中国禁运。
nxt1980di是中国目前能够购买到最先进的asml产品,国内主要将其用于28nm产线,通过多重曝光技术有机会做到更先进的制程。
arfi***理论上都可以通过多重曝光技术实现10nm-7nm工艺制程,***型号的差异更多是体现在良率上。但是,多重曝光技术本身会影响良率和产能,会导致工艺路线变长,不稳定因素增多。增加多重曝光的次数,良率和产能都会下降,经济性会大打折扣。
美国试图堵上中国利用这种技术突破先进制程的漏洞。2023年10月17日,美国商务部工业和安全局(bis)针对中国更新的“先进计算芯片和半导体制造设备出口管制规则”将“专用卡盘覆盖”值的管制范围从小于等于1.5纳米,上升到2.4纳米,而nxt1980di的“专用卡盘覆盖”为1.6纳米,原本不在管控范围,现在被纳入。
asml高层在10月18日的财报会上表示,原则上nxt1980di受美国芯片出口管制限制,但该限制的前提是这些***被用来生产先进制程的芯片,nxt1980di(较此前受到限制的duv***)属于低端浸润式工具,因此美国出口管制新规只会限制中国个别芯片厂。
“我们也有很多中国客户用这些机器生产中端、成熟制程,这些情况下没有安全的忧虑,我们就可以出货,”asml的ceo温宁克(peter wennink)表示。
asml中国收入为何飙升?
在这样的背景下,asml向中国大陆客户的出货猛增。
2023财年前三财季,中国大陆市场营收占比分别为8%、24%、46%,从第四大市场跃居至第一大市场。第三季度中国销售额至24.42亿欧元,创下asml在中国单季销售纪录。
行业普遍认为,asml正在新规生效前集中向中国客户交付产品,2022年及以前中国市场的积压订单在2023年集中释放。
在此次财报会上,asml管理层表示,中国对duv设备的需求持续强劲。中国市场占比高是因为中国客户过去的订单很多没有交付,其中很多订单都已经预付款。对于今年向中国客户发货的产品,大部分订单是在2022年预订的。
过去两年中国大陆客户的需求满足率明显低于50%。这些客户实际上收到的***数量比订购的要少得多。中国集中采购的的***以成熟制程为主,全都是符合美国出口管制规定内的产品。
也就是说,asml中国收入激增,主要来自于成熟制程的推动。可是,中国芯片厂为什么需要这么多成熟制程?
一方面,根据asml管理层释放的消息,中国仍在参与先进制造的芯片厂的数量急剧下降。“当我们与中国客户进行路线讨论时,他们都后退了,而不是前进。”温宁克表示。asml公司cfo 达森(roger dassen)也表示,公司的中国客户去年就调整了方向,涉及先进制程的芯片厂已大幅下降,“如果这是(美国芯片出口管制的)目的,现在已经实现了。”
绝大多数中国芯片厂都已经转向中端、成熟制程。无论是电动汽车,还是能源转型,这些产业发展都需要大量的芯片支撑。而中国正在谋求建立自主可控的这种产线的能力。“他们会更加接近自主,但不会完全自主,因为当地的需求太大了。”温宁克表示。
《财经十一人》了解到,以电动车为例,一些头部车企均有自己的芯片国产化率计划。
另一方面,中国客户的转向不是一种完全孤立的增长。一位国际芯片咨询机构分析师向《财经十一人》表示,全世界都在兴建fab(半导体制造厂)。这影响了对半导体设备的需求。过去,半导体产业中设计和制造分离,主要由台积电这样的代工厂流片和制造。但是在这次供应链危机之后,无论是美国、欧洲,还是日本都推出了刺激性的芯片法案,鼓励半导体本地制造,所以世界各地都兴起了芯片制造厂的建厂热潮,这些增加的产能主要集中在成熟制程。他认为,这是半导体产业将经济逻辑让位于安全逻辑的典型表现,如此产能过剩将不可避免。
“被卡的”不仅是***
asml在中国的生意正处在地缘政治的洪流之中。
一位资深业内人士告诉《财经十一人》,根据他的估算,国内的nxt1980di目前不会超过80台,而2000i 及以后的型号不会超过5台。
在10月18日的财报会上,asml ceo温宁克表示,对中国客户的出口限制很难改变。“该规定是政府间深入沟通的结果,改变的前提是地缘政治首先改变。”
他还预计,按照asml今年在中国大陆的业务规模估算,新法规会对2024年中国大陆业务产生10%-15%的影响。
事实上,美国和荷兰针对asml的出口限制,影响也不仅限于部分先进***。
一位芯片技术人士对《财经十一人》表示,***采购之后,后续的保养、维护、服务也高度依赖asml。辅材购买也高度依赖美日韩荷等企业。只购买***,远远不足以彻底解决卡脖子的问题。
多位产业界人士向《财经十一人》表示,由于进口受限,国内产线存在设备超期服役、维修保养难、关键零部件无法更换的现象。***零部件众多,而国内的供应体系才刚刚建立,发展水平仍与海外有明显差异。
华义创投高级投资经理方亮告诉《财经十一人》,当我们谈到“卡脖子”的时候,不要只盯着光刻设备,首先要树立产线是人员、设备、材料、工艺参数和生产环境五者有机统一的观念,要充分考虑光刻以外环节所需设备、材料甚至软件的禁运问题。

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