半导体材料方阻电阻率、霍尔迁移率非接触式测量技术
我们专注于半导体量测分析设备的研发、生产和服务。l攻克关键核心技术，为晶圆、晶锭、硅材料、碳化硅等材料的生产和品质监控提供一整套完整测试和解决方案，助力半导体相关产业发展。l产品广泛应用于半导体、光伏、科研以及平板材料测试领域。
涡流法电阻率分析仪（晶锭和晶片），应用于半导体wafer及ingot的电阻率分析；
涡流法电阻率探头（晶锭和晶片），应用于光伏、太阳能si片的检测；
spv法pn探头，应用于光伏、太阳能si片的检测；
电容法厚度探头，应用于wafer的厚度测量，分辨率0.1μm；
迁移率（霍尔）测试仪，应用于载流子迁移率及载流子浓度的测量；
jpv法薄膜方阻探头及分析系统，应用于电池片方阻测量；
半自动wafer电阻率、厚度、pn、温度分析系统（解决样片翘曲度影响）。
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