日本silicon sensing systems公司将扩大其在日本的mems代工厂规模,新增的厂房设施,主要为了满足mems惯性传感器和溅射pzt(锆钛酸铅)薄膜mems器件显著增长需求。新厂房占地面积3000平方米,直接将当前的晶圆产量提升一倍以上,紧跟市场增长预测,在未来五年内将产量增加五倍。为了跟上pzt薄膜mems器件市场增长规模并缓解成本压力,silicon sensing systems已经扩大了其8寸晶圆生产线的产能。
此次扩张是公司两年重大投资计划的一部分,投资主要用于升级设备、功能和产能。随着silicon sensing systems迎来其mems业务的20周年,该公司在全球范围交付的器件已超过3000万颗。
silicon sensing systems业务开发经理eric whitley解释说:“silicon sensing systems因生产高精密的mems惯性传感器而闻名,最近我们向无晶圆半导体客户开放了代工厂,这些客户需要为他们的mems器件寻找可靠的pzt供应源。在过去的3年里,我们看到了强劲的市场需求,许多客户都在提高产量,并寻求高效、高精密mems元件的可靠供应。作为团队的一部分,我们很高兴能够参与该业务的发展和增长。”
silicon sensing systems日本公司总经理hiroshi tanaka先生负责监督扩张计划的执行,他补充道:“这是silicon sensing systems不断发展过程中的一个重要里程碑。我们的目标是到2020年底从现有厂房顺利过渡到我们新的可抗震的建筑中。与此同时,我们正在添置许多沉积和蚀刻设备,包括新的ald(原子层沉积)设备,该设备可用于制备适用于恶劣环境下的pzt薄膜。”
薄膜pzt mems
silicon sensing systems于2010年推出首款溅射pzt薄膜mems陀螺仪传感器:pinpoint®陀螺仪。从那时候起,pinpoint®陀螺仪累计生产已超过1000万颗,广泛应用于汽车、工业和商业领域。作为一款具有超高可靠性(最近3年0 ppm返修率)、高精确度且价格合理的mems传感器,pinpoint®陀螺仪目前仍然是最畅销的产品,在业界拥有良好的声誉。
基于pinpoint®的优势,silicon sensing systems的薄膜材料溅射技术已达到了领先水平。silicon sensing systems可为全球客户不同的mems器件提供所需的pzt薄膜,如微镜、喷墨打印头喷嘴和声学器件。在许多的应用案例中,silicon sensing systems是将压电器件从块体材料向薄膜材料转变的重要推手,而薄膜材料在经济、尺寸和功耗方面更具有优势。
关于silicon sensing systems公司
日本silicon sensing systems是一家专业从事惯性传感器和系统开发、生产和销售的科技公司,由collins aerospace和sumitomo precision products两家企业合资创办。该公司成立于1999年,为市场提供硅基微机电系统(mems)导航和稳定技术。自公司成立以来,已为成千上万的客户提供了近4000万颗mems陀螺仪和加速度计,产品广泛应用于全球各地的汽车esc、遥控直升机、gps、机器人等姿态操控、安全系统。
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