mems加速度计的性能解答（六）
mems加速度计的性能解答
线性度
线性度主要是为了使加速度计有较好的线性输出，即mems芯片输出的电压值（模拟或数字）与芯片受到的加速度值成正比。而事实上非线性因素是难以避免的，如弹簧的设计，阻尼系统的设计，可变电容结构的设计，还有信号的采集等或多或少都会产生一些非线性的效应。而mems加速度计的关键技术就是使这些非线性效应降低到能接受的程度。选用适当的机械结构设计，或研究开发一些新型的机械结构和电路结构，使实际器件的模型与理论模型更加接近将对器件的线性度有较大的提高。另外提高芯片的生产工艺对改善芯片的线性度也有重要的作用。
灵敏度与功耗
影响芯片灵敏度取决于芯片的结构与本身产生的噪声。对于x轴加速度计，其x轴的揉度必须大（刚度小，容易变形），而y轴和z轴的揉度必须小（刚度大，不易变形），以确保y轴与z轴的变形不致于影响小加速度对x轴产生的位移响应。这一点必须从机械结构的设计和芯片加工的工艺上进行改善与优化。而噪声的改善则是工艺水平所决定的因素。功耗是影响芯片应用范围的一个重要因素，要使mems芯片市场化，mems加速度芯片就应该向手持设备进军，因此必须降低芯片的功耗。lw
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