对于对称igbt结构,n基区宽度为200μm,通态集电极电流密度为100acm-2,p+集电区/n基区结处空穴浓度(p0),计算得到空穴载流子密度。
在n基区中大注入少子寿命为200到0.2µs。对于大注入条件下基区寿命为20μs情况下(在p集电极区的寿命与n基区的寿命成比例),在p+集电区中,电子扩散长度为0.5µm。p集电极区掺杂浓度为1e18cm−3,表面浓度为1e19cm−3。
在p+集电极/n基区结(j1)处空穴浓度较高(如图中的p0所示),在y=200µm的深p+/n基区结(j2)处空穴浓度降低到零。
当少子寿命降低时,p+集电区/n基区结(j1)的注入空穴浓度(p0)变小。 在少子寿命最小的情况下,即0.2µs,大注入条件在整个n基区中不完全适用,空穴浓度低于虚线所示的掺杂浓度。
在电流密度为100acm−2的条件下,得到不同少子寿命情况下的空穴浓度。大注入下少子寿命为20μs时,自由载流子分布如图所示。在深p+/n基结处,空穴浓度降低到零。栅极下的空穴浓度略有增加。
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