国内mems技术起步早发展缓慢
我国mems的研究始于20世纪90年代初，起步并不晚。在“八五”、“九五”期间一直得到了科技部、教育部、中国科学院、国家自然科学基金委和原国防科工委的支持。
但是总体上国内mems制造技术与国外存在着较大差距，原因在于mems技术与ic技术相比在材料、结构、工艺、功能和信号接口等方面存在诸多差别，往往需要更小的尺寸和较高的精度。
硅基mems制造技术在国内的专利公开数量经历了两次高峰，分别在2005年与2008年，其同比增长都接近50%。前者的公开数量高峰是由于2003年专利申请数量大幅度增加，具体原因可能是由于2002年国家863计划“微机电系统重大专项”的适时启动所致。而2008年的高峰则是由于2006年出现了专利申请数量的低谷所致。
在华拥有最多mems技术相关专利的权利人/申请人主要为国内科研机构与大专院校。排名前三的分别为上海交大、清华大学与北京大学。与前述国别分布相对应的是，只有ibm与三星两家国外企业进入前十。
从国内省市中领先的专利权人来看，我国在多种微型传感器、微型执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备，初步形成了几个mems研究力量比较集中的地区。以上海北京两大研发基地为领头，上海交大、上海微系统所以及北大清华成为各自的科研代表。
高通宣布董事会已批准一项新的100亿美元股票回购计划
智能家居品牌推荐
无线充电系统设计原理与实物制作
健身房中的智能魔镜是什么，满满黑科技的一款产品
构建一个交警用车速检测电路
国内mems技术起步早发展缓慢
机器学习基础知识汇总（分类、应用、安全性）
正交DDS信号的上变频基波输出挑战
欲知真相？荣耀V9手机跑分诡异，原来是EMUI“搞的鬼”
深析：智能穿戴遭遇寒潮 消费者想要的到底是什么？
中国首个千万亿次超级计算机下月在天津启用
5G蜂窝专用网络，解绑“有线”带来的束缚
百度AI开发者大会将在“希壤”APP召开
莱克电气全新发布天狼星一体机，引领清洁家电新时代
罗彻斯特电子与东芝电子元件及存储装置株式会社展开正式合作
电容式触摸芯片在智能门锁中的应用
CEVA-XC架构第四代出炉 提供了无与伦比的性能
数字系统将如何解决模拟系统的不足
2025年以前欧盟各国的城市也将推出5G商用
***瑞盟代理两相步进电机驱动芯片MS35774概述、特点及功能 MS35774
但是总体上国内mems制造技术与国外存在着较大差距，原因在于mems技术与ic技术相比在材料、结构、工艺、功能和信号接口等方面存在诸多差别，往往需要更小的尺寸和较高的精度。
硅基mems制造技术在国内的专利公开数量经历了两次高峰，分别在2005年与2008年，其同比增长都接近50%。前者的公开数量高峰是由于2003年专利申请数量大幅度增加，具体原因可能是由于2002年国家863计划“微机电系统重大专项”的适时启动所致。而2008年的高峰则是由于2006年出现了专利申请数量的低谷所致。
在华拥有最多mems技术相关专利的权利人/申请人主要为国内科研机构与大专院校。排名前三的分别为上海交大、清华大学与北京大学。与前述国别分布相对应的是，只有ibm与三星两家国外企业进入前十。
从国内省市中领先的专利权人来看，我国在多种微型传感器、微型执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备，初步形成了几个mems研究力量比较集中的地区。以上海北京两大研发基地为领头，上海交大、上海微系统所以及北大清华成为各自的科研代表。
高通宣布董事会已批准一项新的100亿美元股票回购计划
智能家居品牌推荐
无线充电系统设计原理与实物制作
健身房中的智能魔镜是什么，满满黑科技的一款产品
构建一个交警用车速检测电路
国内mems技术起步早发展缓慢
机器学习基础知识汇总（分类、应用、安全性）
正交DDS信号的上变频基波输出挑战
欲知真相？荣耀V9手机跑分诡异，原来是EMUI“搞的鬼”
深析：智能穿戴遭遇寒潮 消费者想要的到底是什么？
中国首个千万亿次超级计算机下月在天津启用
5G蜂窝专用网络，解绑“有线”带来的束缚
百度AI开发者大会将在“希壤”APP召开
莱克电气全新发布天狼星一体机，引领清洁家电新时代
罗彻斯特电子与东芝电子元件及存储装置株式会社展开正式合作
电容式触摸芯片在智能门锁中的应用
CEVA-XC架构第四代出炉 提供了无与伦比的性能
数字系统将如何解决模拟系统的不足
2025年以前欧盟各国的城市也将推出5G商用
***瑞盟代理两相步进电机驱动芯片MS35774概述、特点及功能 MS35774