湿法蚀刻的GaAs表面研究报告
为了能够使用基于 gaas 的器件作为化学传感器，它们的表面必须进行化学改性。gaas 表面上液相中分子的可重复吸附需要受控的蚀刻程序。应用了几种分析方法，包括衰减全反射和多重内反射模式 (atr/mir) 中的傅里叶变换红外光谱 (ftirs)、高分辨率电子能量损失光谱 (hreels)、x 射线光电子能谱 (xps) 和原子用于分析用不同湿蚀刻程序处理的 gaas 样品的力显微镜 (afm)。通过与粉末状氧化物(ga2o3、as2o3 和 as2o5)相比，振动和 xps 光谱中存在的表面氧化物导致的不同特征的分配。这里描述的蚀刻程序，即，使用低浓度 hf 溶液的那些，大大减少了砷氧化物 表面中存在的砷氧化物和脂肪族污染物的数量，并完全去除了氧化镓。
介绍
gaas 表面具有高表面能。1 因此，它们具有很强的反应性和化学稳定性。gaas 表面上存在的不同氧化物的化学表征是有问题的，因为仅通过红外光谱和高分辨率电子能量损失光谱 (hreels) 3 对氧化物进行了几次鉴定，并且在x 射线光电子能谱 (xps) 值存在。
上述所有方法在表面成分和粗糙度方面的结果从未进行过比较。事实上，这些方法主要用于分子束外延 (mbe)，其中应通过在 580 c 的热清洁温度以上真空下对 gaas 样品进行退火来进行第二步氧化物消除。工作，因为我们对在环境温度下从液体溶液中吸附感兴趣，所以不进行第二步。为了为我们的目的选择最合适的湿法蚀刻，我们使用上述一些程序研究了湿法蚀刻的 gaas 表面。此外，必须研究随后从液体溶液中吸附分子、溶剂(即水)对基材组成和形态的作用。
样品制备
gaas 样品先在丙酮中超声 5 分钟，然后在乙醇中清洗。脱脂后的样品随后通过将它们浸入水溶液中使用不同的程序进行蚀刻(成分按体积比例给出)：
(a) h2so4 : h2o2 : h2o (4: 1: 1 at 70 °c) 10 分钟，然后用盐酸 5 分钟，然后冲洗 5 秒;
(b) 改良的 rca 处理：nh4oh : h2o2 : h2o (1:1:
100) 5 分钟，然后漂洗 5 秒，然后再用 nh4oh : h2o2 : h2o (1:1: 30) 处理 5 分钟，然后漂洗 5 秒;
(c) hcl : h2o (1:1) 1 分钟并冲洗 1 分钟;
(d) hf：h2o(不同浓度)5 秒，冲洗3 秒。
diw 始终用于冲洗步骤。
通过将样品浸入 h2o2 中 30 秒，然后将其在 diw 中冲洗 2 分钟来进行表面氧化。然后用氮气流干燥样品，并将通过 hreels 和/或 xps 分析的样品在氩气气氛下转移到 uhv 室中，并在氮气流下引入。
在清洁玻璃器皿时要特别小心，以避免污染并防止来自洗涤剂的离子(如 nac 和磷酸盐)的存在。小心洗涤后，将所有玻璃器皿在沸水去离子水浴中漂洗 1.5 小时。
结果和讨论
为了识别 gaas 表面存在的氧化物，使用 ftirs 和 xps 研究了一些市售的镓和砷的粉末氧化物。粉末光谱与 gaas 表面光谱之间的比较有助于确定表面氧化物的化学计量。
结论
本研究的目标是建立一种制备方法，以确保传感器技术在 gaas 表面上有机层的良好吸附。我们将这项工作的重点放在比较不同蚀刻程序和确定其化学成分和形态方面的表面质量上。通过不同的方法研究了 gaas 样品，通过与粉末氧化物分析中获得的那些进行比较，获得了表面氧化物的 atr/mir 和 xps 分配。为了改进分析，还使用过氧化氢对 gaas 晶片进行氧化，然后进行蚀刻，以便更容易识别不同的氧化物。还发现用有机溶剂进行脱脂不仅可以去除脂肪族污染物，还可以去除一些天然氧化物。
比较了不同湿法蚀刻方法的作用，并通过 hreels 和 xps 分析了极端表面。两种方法都表明，蚀刻后氧化镓的存在可以忽略不计，并且氧化砷仍然保留在表面上。xps 还显示蚀刻将氧化物厚度从 1.6 纳米减少到 0.1 纳米。还确定了 hf 浓度对表面最终质量的影响，即其化学成分和粗糙度。afm 图像显示，使用不同湿蚀刻方法(hf、hcl 或 nh3)的蚀刻表面具有非常低的粗糙度。在用三种程序蚀刻的样品中观察到的 hreels 光谱中 gaas 的强烈表面声子的存在也证明了非常规则的表面。
Tesla完全自动驾驶 到底是彻底解放人类还是大跃进？
发现边缘等待您的事物
基于PLC和组态软件的带式输送机远程监控和程序上下载系统
预计2026年亚太地区智能燃气表市场规模将达37亿美元
浅析车用PCB现状及未来发展趋势
湿法蚀刻的GaAs表面研究报告
国内首个7兆瓦海上风电项目主体工程顺利完工 可满足113万个4口之家1个月的用电
什么是 一次锂亚电池（ER10150）？
工业互联网将成为未来最大趋势之一
如何用伏安法测小灯泡电阻？
如何计算工业交换机的背板带宽，有什么方法
三位年轻华人AI博士有了最新的职业规划
一块好的PCB版是怎样练成的？
72V 固定比例 DC/DC 控制器无需功率电感器，在非隔离式中间总线转换器应用中提供超过 500W 功率
高压集成电路UBA2016A/15/15A的性能优势及应用
LM12放大器电路图分享
五大指标衡量电池性能
中国广电将要建设全国一网的5G和有线交互协同的新网络？
SIMATIC S7-1500 PLC工艺模块及接线简析
谷歌 YouTube Xbox 版已支持 HDR 视频播放
介绍
gaas 表面具有高表面能。1 因此，它们具有很强的反应性和化学稳定性。gaas 表面上存在的不同氧化物的化学表征是有问题的，因为仅通过红外光谱和高分辨率电子能量损失光谱 (hreels) 3 对氧化物进行了几次鉴定，并且在x 射线光电子能谱 (xps) 值存在。
上述所有方法在表面成分和粗糙度方面的结果从未进行过比较。事实上，这些方法主要用于分子束外延 (mbe)，其中应通过在 580 c 的热清洁温度以上真空下对 gaas 样品进行退火来进行第二步氧化物消除。工作，因为我们对在环境温度下从液体溶液中吸附感兴趣，所以不进行第二步。为了为我们的目的选择最合适的湿法蚀刻，我们使用上述一些程序研究了湿法蚀刻的 gaas 表面。此外，必须研究随后从液体溶液中吸附分子、溶剂(即水)对基材组成和形态的作用。
样品制备
gaas 样品先在丙酮中超声 5 分钟，然后在乙醇中清洗。脱脂后的样品随后通过将它们浸入水溶液中使用不同的程序进行蚀刻(成分按体积比例给出)：
(a) h2so4 : h2o2 : h2o (4: 1: 1 at 70 °c) 10 分钟，然后用盐酸 5 分钟，然后冲洗 5 秒;
(b) 改良的 rca 处理：nh4oh : h2o2 : h2o (1:1:
100) 5 分钟，然后漂洗 5 秒，然后再用 nh4oh : h2o2 : h2o (1:1: 30) 处理 5 分钟，然后漂洗 5 秒;
(c) hcl : h2o (1:1) 1 分钟并冲洗 1 分钟;
(d) hf：h2o(不同浓度)5 秒，冲洗3 秒。
diw 始终用于冲洗步骤。
通过将样品浸入 h2o2 中 30 秒，然后将其在 diw 中冲洗 2 分钟来进行表面氧化。然后用氮气流干燥样品，并将通过 hreels 和/或 xps 分析的样品在氩气气氛下转移到 uhv 室中，并在氮气流下引入。
在清洁玻璃器皿时要特别小心，以避免污染并防止来自洗涤剂的离子(如 nac 和磷酸盐)的存在。小心洗涤后，将所有玻璃器皿在沸水去离子水浴中漂洗 1.5 小时。
结果和讨论
为了识别 gaas 表面存在的氧化物，使用 ftirs 和 xps 研究了一些市售的镓和砷的粉末氧化物。粉末光谱与 gaas 表面光谱之间的比较有助于确定表面氧化物的化学计量。
结论
本研究的目标是建立一种制备方法，以确保传感器技术在 gaas 表面上有机层的良好吸附。我们将这项工作的重点放在比较不同蚀刻程序和确定其化学成分和形态方面的表面质量上。通过不同的方法研究了 gaas 样品，通过与粉末氧化物分析中获得的那些进行比较，获得了表面氧化物的 atr/mir 和 xps 分配。为了改进分析，还使用过氧化氢对 gaas 晶片进行氧化，然后进行蚀刻，以便更容易识别不同的氧化物。还发现用有机溶剂进行脱脂不仅可以去除脂肪族污染物，还可以去除一些天然氧化物。
比较了不同湿法蚀刻方法的作用，并通过 hreels 和 xps 分析了极端表面。两种方法都表明，蚀刻后氧化镓的存在可以忽略不计，并且氧化砷仍然保留在表面上。xps 还显示蚀刻将氧化物厚度从 1.6 纳米减少到 0.1 纳米。还确定了 hf 浓度对表面最终质量的影响，即其化学成分和粗糙度。afm 图像显示，使用不同湿蚀刻方法(hf、hcl 或 nh3)的蚀刻表面具有非常低的粗糙度。在用三种程序蚀刻的样品中观察到的 hreels 光谱中 gaas 的强烈表面声子的存在也证明了非常规则的表面。
Tesla完全自动驾驶 到底是彻底解放人类还是大跃进？
发现边缘等待您的事物
基于PLC和组态软件的带式输送机远程监控和程序上下载系统
预计2026年亚太地区智能燃气表市场规模将达37亿美元
浅析车用PCB现状及未来发展趋势
湿法蚀刻的GaAs表面研究报告
国内首个7兆瓦海上风电项目主体工程顺利完工 可满足113万个4口之家1个月的用电
什么是 一次锂亚电池（ER10150）？
工业互联网将成为未来最大趋势之一
如何用伏安法测小灯泡电阻？
如何计算工业交换机的背板带宽，有什么方法
三位年轻华人AI博士有了最新的职业规划
一块好的PCB版是怎样练成的？
72V 固定比例 DC/DC 控制器无需功率电感器，在非隔离式中间总线转换器应用中提供超过 500W 功率
高压集成电路UBA2016A/15/15A的性能优势及应用
LM12放大器电路图分享
五大指标衡量电池性能
中国广电将要建设全国一网的5G和有线交互协同的新网络？
SIMATIC S7-1500 PLC工艺模块及接线简析
谷歌 YouTube Xbox 版已支持 HDR 视频播放