基于L298N芯片对离子渗氮中压强的控制
摘要：离子渗氮工艺对炉体内压强的控制要求比较高，本文设计了一种基于l298n芯片驱动直流电动机控制的气体流量控制器，可用于控制反应炉的抽气气体流量，提高了炉体压强控制精度，降低了生产成本。
1、离子渗氮理论 离子渗氮是在低温等离子中进行的，低气压气体在电场作用下使之电离，产生高能离子和高能中性原子，这些高能粒子可以改善渗层组织结构和促进化学反应过程，加速渗氮层的形成。离子渗氮是在辉光放电中进行，在离子渗氮过程中对炉体的压强控制精度要求比较高，控制偏差几十帕。根据帕邢定律：
其中：p为气体压强;
d为平行板电极间距离;
v为阴极二次电子发射系数;
b为斯托列夫常数;
a是常数。
对式（1）求导，可得出击穿电压表达式（2）：
由式（2）可知，击穿电压v与气体压强和d有关，而一般实验中d是固定不变，因此离子渗氮对压强控制极为重要。
2、系统流量与压强测控框图 流量计控制进气口的气体流量，当进气和抽气流量平衡时，炉体压强保持稳定。由于炉体气体泄露及其他干扰因素的影响，炉体压强上下波动，系统偏离平衡态，严重时影响等离子工艺处理。我们采用普通直流电动机，通过l298n驱动直流电动机，由电动机通过减速杆带动锥体转动。当锥体旋进时，抽气机单位时间内抽出气体减少;旋出时，抽出气体增多，从而使炉体内的压强稳定在所需的值。炉体压强的变化通过压强传感器测出并通过变送器，将气体流量控制器送至反馈电压。抽气口采用电动真空蝶阀价格昂贵，如图1所示。
图1系统流量与压强测控框图
3、l298n芯片介绍
图2l298n内部功能模块
l298n可接受标准ttl逻辑电平信号vss，vss可接4.5～7v电压。4脚vs接电源电压，vs电压范围vih为+2.5～46v。输出电流可达2.5a，可驱动电感性负载。1脚和15脚下管的发射极分别单独引出以便接入电流采样电阻，形成电流传感信号。l298可驱动2个电动机，out1，out2和out3，out4之间可分别接电动机，本实验装置我们选用驱动一台电动机。5，7，10，12脚接输入控制电平，控制电机的正反转。ena，enb接控制使能端，控制电机的停转。表1是l298n功能逻辑图。
表1l298n功能模块
in3，in4的逻辑图与表1相同。由表1可知ena为低电平时，输入电平对电机控制起作用，当ena为高电平，输入电平为一高一低，电机正或反转。同为低电平电机停止，同为高电平电机刹停。
4、控制器原理 图3是控制器原理图，由3个虚线框图组成
图3控制器原理图
下面是3个虚线框图功能：
（1）虚线框图1控制电机正反转，u1a，u2a是比较器，vi来自炉体压强传感器的电压。当vi》vrbf1时，u1a输出高电平，u2a输出高电平经反相器变为低电平，电机正转。同理vi《vrbf1时，电机反转。电机正反转可控制抽气机抽出气体的流量，从而改变炉体压强。
（2）虚线框图2中，u3a，u4a两个比较器组成双限比较器，当vb《vi《va时输出低电平，当vi》va，vi《vb时输出高电平。va，vb是由炉体压强转感器转换电压的上下限，即反应炉体压强控制范围。根据工艺要求，我们可自行规定va，vb的值，只要炉体压强在va，vb所确定范围之间电机停转（注意vb《vrbf1《va，如果不在这个范围内，系统不稳定）。
（3）虚线框图3是一个长延时电路。u5a是一个比较器，rs1是采样电阻，vrbf2是电机过流电压。rs1上电压大于vref2，电机过流，u5a输出低电平。由上面可知，框图1控制电机正反转，框图2控制炉体压强的纹波大小。当炉体压强太小或太大时，电动机转到两端固定位置停止，根据直流电机稳态运行方程：
u=ceфn+raia
其中：ф为电机每极磁通量;
ce为电动势常数;
n为电机转数;
ia为电枢电流;
ra电枢回路电阻。
电机转数n为0，电机的电流急剧增加，时间过长将会使电机烧坏。但电机起动时，电机中线圈中的电流也急剧变大，因此我们必须把这两种状态分开。长延时电路可把这两种状态区分出来。长延时电路工作原理：当rs1过流u5a产生一个负脉冲经过微分后，脉冲触发555的2脚，电路置位，3脚输出高电平，由于放电端7脚开路，c1，r5及u6a组成积分器开始积分，电容c1上的充电电压线性上升，延时运放积分常数为100r5c1。当c1上充电电压，即6脚电压超过2/3vcc，555电路复位，输出低电平。电机启动时间一般小于0.8s，c1充电时间一般为0.8～1s。u5a输出电平与555的3脚输出电平经u7相或，如果u5a输出低电平大于c1充电时间，u7在c1充电后输出低电平由与门u8输入到l298n的6脚ena端使电机停止。如果u5a的输出电平小于c1充电时间，6脚不动作电机的正常启动。长延时电路吸收电机启动过流电压波形，从而使电机正常启动。
5、结语 采用此控制器控制气体流量，可降低生产成本，提高系统性价比，改善整个系统控制的控制动态性能和稳定性能。
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其中：p为气体压强;
d为平行板电极间距离;
v为阴极二次电子发射系数;
b为斯托列夫常数;
a是常数。
对式（1）求导，可得出击穿电压表达式（2）：
由式（2）可知，击穿电压v与气体压强和d有关，而一般实验中d是固定不变，因此离子渗氮对压强控制极为重要。
2、系统流量与压强测控框图 流量计控制进气口的气体流量，当进气和抽气流量平衡时，炉体压强保持稳定。由于炉体气体泄露及其他干扰因素的影响，炉体压强上下波动，系统偏离平衡态，严重时影响等离子工艺处理。我们采用普通直流电动机，通过l298n驱动直流电动机，由电动机通过减速杆带动锥体转动。当锥体旋进时，抽气机单位时间内抽出气体减少;旋出时，抽出气体增多，从而使炉体内的压强稳定在所需的值。炉体压强的变化通过压强传感器测出并通过变送器，将气体流量控制器送至反馈电压。抽气口采用电动真空蝶阀价格昂贵，如图1所示。
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l298n可接受标准ttl逻辑电平信号vss，vss可接4.5～7v电压。4脚vs接电源电压，vs电压范围vih为+2.5～46v。输出电流可达2.5a，可驱动电感性负载。1脚和15脚下管的发射极分别单独引出以便接入电流采样电阻，形成电流传感信号。l298可驱动2个电动机，out1，out2和out3，out4之间可分别接电动机，本实验装置我们选用驱动一台电动机。5，7，10，12脚接输入控制电平，控制电机的正反转。ena，enb接控制使能端，控制电机的停转。表1是l298n功能逻辑图。
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4、控制器原理 图3是控制器原理图，由3个虚线框图组成
图3控制器原理图
下面是3个虚线框图功能：
（1）虚线框图1控制电机正反转，u1a，u2a是比较器，vi来自炉体压强传感器的电压。当vi》vrbf1时，u1a输出高电平，u2a输出高电平经反相器变为低电平，电机正转。同理vi《vrbf1时，电机反转。电机正反转可控制抽气机抽出气体的流量，从而改变炉体压强。
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（3）虚线框图3是一个长延时电路。u5a是一个比较器，rs1是采样电阻，vrbf2是电机过流电压。rs1上电压大于vref2，电机过流，u5a输出低电平。由上面可知，框图1控制电机正反转，框图2控制炉体压强的纹波大小。当炉体压强太小或太大时，电动机转到两端固定位置停止，根据直流电机稳态运行方程：
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