中空式激光合束压电偏摆台
p54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特点
• θx,θy偏摆运动 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形薄 • 适于加速度/角速度传感器标定
θx,θy轴偏摆
应用实例
p54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。
闭环传感精度高
p54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到最小，无空回、无摩擦。采用压电陶瓷驱动实现最大偏转范围±1mrad，分辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%f.s.的重复定位精度。台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为80×80mm，p54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的最佳选择。
负载大镜片
p54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
频率负载曲线
典型应用
• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉 / 计量 • 空间扰动模拟系统 • 微操作 • 掩模与晶片位置调整
开环曲线
阶跃时间
重复定位精度
推荐控制器
技术参数
注：以上参数是采用 e00/e01 系列压电控制器测得。驱动电压范围可在 -20v~150v；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120v。lw
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负载大镜片
p54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
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