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电子束穿透固体样品的能力主要取决于加速电压
电子束穿透固体样品的能力主要取决于加速电压,样品厚度以及物质的原子序数。一般来说,加速电压愈高,原子序数愈低,电子束可穿透样品厚度就愈大。因此,通常情况下,在制备tem样品时,越薄越好。
季丰电子的透射电镜是目前主流的thermo scientific fei talos系列。用于高通量、高分辨率表征和动态观察的tem和stem分析,线分辨率≤0.1 nm,stem分辨率≤0.16nm。搭配高端helios 5系列fib系统可以制备、观察厚度在20nm以下的超薄样品。4k × 4k ceta 16m 相机可在 64 位平台上提供大视场、高灵敏度快速成像。
此外tem配备了对称布置的双100 mm2 racetrack 能谱检测器( “dual-x”),以最大限度提高分析通量,可对材料表面微区成分以及膜层结构进行面、线、点分布的定性和定量分析。
季丰电子实验室有经验丰富的电镜工程师,熟悉各种半导体样品,薄膜样品,金属样品等,为提供准确的、高质量的分析结果提供有力保障。
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