一文汇总2018年全球光刻机出货情况

根据芯思想研究院的数据表明,2018年全球光刻机出货逾600台,较2017年的460台增幅达30%。
2018年asml、nikon、canon三巨头半导体用光刻机出货374台,较2017年的294台增加80台,增长27.21%。
2018年asml、nikon、canon三巨头光刻机总营收118.92亿欧元,较2017年增长25.21%。
从euv、arfi、arf机型的出货来看,全年共出货134台。其中asml出货120台,占有9成的市场。
asml
2018年asml光刻机出货224台,营收达82.76亿欧元,较2017年成长35.74%。其中euv光刻机营收达18.86亿欧元,较2017年增加7.85亿欧元。
2018年asml共出货224台光刻机,较2017年198年增加26台,增长13.13%。其中euv光刻机出货18台,较2017年增加7台;arfi光刻机出货86台,较2017年增加10台;arf光刻机出货16台,较2017年增加2台;krf光刻机出货78台,增加7台;i-line光刻机出货26台,和2017年持平。
2018年单台euv平均售价1.04亿欧元,较2017年单台平均售价增长4%。而在2018年一季度和第四季的售价更是高达1.16亿欧元。
目前全球知名厂商包括英特尔intel、三星samsung、台积电tsmc、sk海力士sk hynix、联电umc、格芯gf、中芯国际smic、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是asml的客户。
2018年中国已经进口多台arfi光刻机,包括长江存储、华力微二期。
nikon
2018年度(非财年),nikon光刻机出货106台,营收达20.66亿欧元,较2017年成长25.29%。
2018年度,nikon半导体用光刻机出货36台,比2017年度增加9台,增长33.33%。其中arfi光刻机出货5台,较2017年度减少1台;arf光刻机出货9台,较2017年度增加1台;krf光刻机出货5台,较2017年度增加3台;i-line光刻机出货17台,较2017年度增加6台。
2018年度,nikon半导体用光刻机出货36台中,其中全新机台出货19台,翻新机台出货17台。
2018年度,nikon面板(fpd)用光刻机出货70台。
canon
2018年canon光刻机出货183台,营收达15.5亿欧元,较2017年微增1.6%。
2018年canon半导体用光刻机出货达114台,较2017年增加44台,增长62.85%。但是主要是i-line、krf两个低端机台出货。
2018年全年面板(fpd)用光刻机出货69台。
其他光刻机公司
上海微电子装备(集团)股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、fpd、mems、led、功率器件等制造领域,2018年出货大概在50-60台之间。
德国suss光刻机主要用于半导体集成电路先进封装、mems、led,2018年光刻机收入约1.2亿欧元,较2017年增长约7个百分点。
asml公司euv进展
2018年,asml和imec建设联合实验室,目标一是加速euv技术导入量产;二是实验以0.55 na取代目前的0.33 na,具有更高na的euv微影系统能将euv光源投射到较大角度的晶圆,从而提高分辨率,并且实现更小的特征尺寸。
2019年下半年,asml将推出每小时吞吐量为170片的euv新机型nxe:3400c;2021年将推出0.55 na的新机型exe:5000,可用于2纳米生产。
asml预估2019年全年将出货30台euv光刻机,据悉dram公司也将于2019年开始采用euv光刻机制造。

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