台面型InGaAs/InP基PIN短波红外偏振探测器原型器件
红外辐射（760nm-30μm）作为电磁波的一种，蕴含着物体丰富的信息。红外光电探测器在吸收物体的红外辐射后，通过光电转换、电信号处理等手段将携带物体辐射特征的红外信号可视化。其具有全天候观测、抗干扰能力强、穿透烟尘雾霾能力强、高分辨能力的特点，在国防、天文、民用领域扮演着重要的角色，是当今信息化时代发展的核心驱动力之一，是信息领域战略性高技术必争的制高点。众所周知，波长、强度、相位和偏振是构成光的四大基本元素。其中，光的偏振维度可以丰富目标的散射信息，如表面形貌和粗糙度等，使成像更加生动、更接近人眼接收到的图像。因此偏振成像在目标-背景对比度增强、水下成像、恶劣天气下探测、材料分类、表面重建等领域有着重要应用。在短波红外领域，ingaas/inp材料体系由于其带隙优势，低暗电流，和室温下的高可靠性已经得到了广泛的应用。目前，一些关于短波偏振探测技术的研究已经在平面型ingaas/inp pin探测器上开展。然而，平面结构中所必须的扩散工艺导致的电学串扰使得器件难以向更小尺寸发展。同时，平面结构中由对准偏差导致的偏振相关的像差效应也不可避免。与平面结构相比，深台面结构在物理隔离方面具有优势，具有克服上述不足的潜力。
中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心e03组长期从事化合物半导体材料外延生长与器件制备的研究。e03组很早就开始了对近红外及短波红外探测器材料与器件的研究，曾研制出超低暗电流的硅基肖特基结红外探测器【photonics research， 8， 1662（2020）】，研究过短波红外面阵探测器小像元之间的暗电流抑制及串扰问题【results in optics， 5， 100181 （2021）】等。最近，e03组研究团队的张珺玚博士生在陈弘研究员，王文新研究员，邓震副研究员地指导下，针对光的偏振成像，并结合亚波长光栅制备技术，片上集成了一种台面型ingaas/inp基pin短波红外偏振探测器原型器件。该原型器件具有的深台面结构可以有效地防止电串扰，使其潜在地实现更小尺寸短波红外偏振探测器的制备。
图1是利用湿法腐蚀和电子束曝光等微纳加工技术制备红外探测器及亚波长光栅的工艺流程。图2和图3分别是制备完成后的红外探测器光学显微镜图片和不同取向的亚波长光栅结构sem图片。
图1. 集成有亚波长al光栅的台面型ingaas pin基偏振探测器的工艺流程示意图。
图2. 两种台面尺寸原型器件的光学显微镜图片 （a） 403μm×683μm （p1）， （b） 500μm×780μm （p0）。
图3. 四种角度 （a） 0°， （b） 45°， （c） 90°， （d） 135°al光栅形貌。
图4是不同台面尺寸的p1和p0器件（无光栅）在不同条件下的j-v特性曲线和响应光谱。在1550nm光激发，-0.1v偏压下，p1和p0器件的外量子效率分别为63.2%和64.8%，比探测率d*分别达到6.28×10¹¹cm·hz1/2/w和6.88×10¹¹cm·hz1/2/w，表明了原型器件的高性能。
图4. ingaas pin原型探测器（无光栅）的j-v特性曲线和响应光谱。（a） 无光照下，p1和p0的暗电流密度jd-v特性曲线；不同入射光功率下，（b） p1和（c） p0的光电流密度jph-v特性曲线，插图是-0.1v下光电流密度与入射光功率之间的关系曲线；（d） p1和p0的响应光谱曲线。
图5表明器件的偏振特性。从图5可以看出，透射率随偏振角度周期性变化，相邻方向间的相位差在π/4附近，服从马吕斯定律。此外， 0°， 45°， 90°和135°亚波长光栅器件的消光比分别为18:1、18:1、18:1和20:1，tm波透过率均超过90%，表明该偏振红外探测器件具有良好的偏振性能。
图5. （a） 1550 nm下，无光栅器件和0°， 45°， 90°和135°亚波长光栅器件的电学信号随入射光极化角度的变化关系；（b） 光栅器件透射谱。
综上所述，研究团队制备的台面结构ingaas pin探测器，其响应范围为900nm-1700nm，在1550nm和-0.1v （300k） 下的探测率为6.28×10¹¹cm·hz1/2/w。此外，0°，45°，90°和135°光栅的器件均表现出明显的偏振特性，消光比可达18:1，tm波的透射率超过90%。上述的原型器件作为一种具有良好偏振特性的台面结构短波红外偏振探测器，有望在偏振红外探测领域具有潜在的广泛应用前景。
近日，相关研究成果以题“opto-electrical and polarization performance of mesa-structured ingaas pin detector integrated with subwavelength aluminum gratings”发表在optics letters【47，6173（2022）】上，上述研究工作得到了基金委重大、基金委青年基金、中国科学院青年创新促进会、中国科学院战略性先导科技专项、怀柔研究部的资助。另外，感谢微加工实验室杨海方老师在电子束曝光等方面的细心指导和帮助。物理所e03组博士研究生张珺玚为第一作者。
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图1是利用湿法腐蚀和电子束曝光等微纳加工技术制备红外探测器及亚波长光栅的工艺流程。图2和图3分别是制备完成后的红外探测器光学显微镜图片和不同取向的亚波长光栅结构sem图片。
图1. 集成有亚波长al光栅的台面型ingaas pin基偏振探测器的工艺流程示意图。
图2. 两种台面尺寸原型器件的光学显微镜图片 （a） 403μm×683μm （p1）， （b） 500μm×780μm （p0）。
图3. 四种角度 （a） 0°， （b） 45°， （c） 90°， （d） 135°al光栅形貌。
图4是不同台面尺寸的p1和p0器件（无光栅）在不同条件下的j-v特性曲线和响应光谱。在1550nm光激发，-0.1v偏压下，p1和p0器件的外量子效率分别为63.2%和64.8%，比探测率d*分别达到6.28×10¹¹cm·hz1/2/w和6.88×10¹¹cm·hz1/2/w，表明了原型器件的高性能。
图4. ingaas pin原型探测器（无光栅）的j-v特性曲线和响应光谱。（a） 无光照下，p1和p0的暗电流密度jd-v特性曲线；不同入射光功率下，（b） p1和（c） p0的光电流密度jph-v特性曲线，插图是-0.1v下光电流密度与入射光功率之间的关系曲线；（d） p1和p0的响应光谱曲线。
图5表明器件的偏振特性。从图5可以看出，透射率随偏振角度周期性变化，相邻方向间的相位差在π/4附近，服从马吕斯定律。此外， 0°， 45°， 90°和135°亚波长光栅器件的消光比分别为18:1、18:1、18:1和20:1，tm波透过率均超过90%，表明该偏振红外探测器件具有良好的偏振性能。
图5. （a） 1550 nm下，无光栅器件和0°， 45°， 90°和135°亚波长光栅器件的电学信号随入射光极化角度的变化关系；（b） 光栅器件透射谱。
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