中国首条MEMS 8英寸线成功投入运营,中国MEMS产业的里程牌

mems(微机电系统),是在微电子技术上发展起来的,涉及微电子、材料、力学、化学、机械、物联网等诸多学科领域,是目前国际上发达国家大力发展的前沿技术。
近日,罕王微电子(辽宁)有限公司总裁黄向向女士、执行副总裁douglas sparks博士以及全球首席市场/营销总监laura kendall女士携罕王微电子展团,盛大亮相 “2017传感器与mems技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展”与“中国国际纳米技术产业博览会(chinano2017 conference& expo)”,douglas sparks博士在大会上做了主题发言。
罕王微电子展台@中国国际纳米技术产业博览会
罕王微电子执行副总裁douglas sparks博士
douglas sparks博士在发言中介绍,罕王微电子投资建设的中国首条也是唯一一条专注于mems的8英寸大规模产业化生产线已经成功投入运营。通过此前对maxim(美信)公司mems传感器业务的收购,罕王微电子获得了美信所有相关的工艺技术、设备以及200多件专利,更为重要的是获得了美信在mems制造领域积累的20多年经验,这为罕王8英寸产线的成功投产规避了许多问题,争取了宝贵的时间。
罕王微电子8英寸mems fab
在谈及罕王微电子为什么对mems产业感兴趣,并且没有选择fabless或fab-lite的创业模式,而是初期就确定idm模式并大力投入建设自己的8英寸产线,罕王微电子总裁黄向女士不无感概的说:“罕王作为一家拥有35年运营历史的国际矿业集团,在有资金实力支持的条件下,罕王创始人希望为国内的mems制造业做出自己的贡献,以投资回报这片故土;另外,随着以智能传感器为感知基石的智能手机、可穿戴、先进驾驶辅助系统(adas)及无人驾驶汽车、无人机等物联网应用市场的兴起,投资mems产业也是罕王集团转型升级的创新之路;我们这些拥有20多年mems产业经验的行业老兵,怀着一份爱国情怀,也希望能够助力国内mems产业的腾飞。”
“我们的8英寸mems产线是中国第一条也是唯一一条专注于mems的大规模产业化生产线,对于中国mems产业的发展具有重要的战略意义,”罕王微电子全球首席市场/营销总监laura kendall女士补充道,“它不仅能为国内的mems企业节约进出口税等额外成本,更重要的是提供了完全本地化的服务,为国内mems企业带来了世界最先进的mems制造技术和行业经验,大大缩短了产品交付时间;同时,我们也在大举招募国内mems人才,为国内mems产业培养一批制造精英。”
目前,这条8英寸产线的产能已经达到10000片晶圆/月,在未来的产能规划方面,这条产线在满足罕王微电子的产能需求的基础上,还将对外提供代工服务。得益于遍布全球的市场资源,罕王微电子为国内的mems初创企业提出了一种“代工+市场”的全新服务模式。mems初创企业可以仅专注于mems设计开发,器件的制造及未来的市场开拓可以由罕王提供一站式服务。
罕王微电子目前的主要产品包括汽车、消费电子、无人机惯性导航应用的hke21000系列6轴惯性测量单元。其6轴惯性测量单元凭借无与伦比的精度和可靠性,在要求极其严苛的f1(一级方程式赛车)赛场,赢得了国际顶尖赛车制造商的青睐。而在无人机惯导领域的市场占有率更是已经达到了90%。
全球化的罕王微电子未来将针对消费电子、无人机等物联网应用推出集成mcu(微控制器)的智能6轴惯性测量单元。随着自动驾驶汽车和adas系统的发展,以及各国政府对新车评价规程(n-cap)的日趋严格,各种汽车主被动安全应用逐渐成为标配,罕王微电子将针对这些汽车安全应用推出低噪音、低延时的新款hke31000系列和hke33000系列高性能惯性测量单元。
douglas sparks博士简介
douglas sparks博士拥有美国普渡大学(purdue university)材料科学和工程博士学位,发表过100余篇科技论文,并拥有47件美国专利。douglas sparks博士在美国、日本和欧洲的汽车、医疗和工业应用领域从事mems工作20余年。自2011年起加入罕王微电子,任执行副总裁。在加入罕王之前,douglas sparks博士曾历任nanogetters公司创始人兼总裁,integrated sensing systems公司执行副总裁,负责公司微流控产品线。他还在delphi automotive system公司(德尔福汽车系统)和delco electronics公司(德科电子)从事过mems、晶圆制造和ic开发工作。

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