白光干涉仪的原理和测量方法
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2d，3d表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。
supervieww1白光干涉仪白光干涉仪扫描原理在利用白光干涉测量表面三维形貌的过程中，对于被测表面上某一点来说，为了定位其零光程差位置，必须采用某种扫描方式改变参考镜或者被测表面的位置，以此来获得该点光强变化的离散数据，然后依据白光干涉的典型特征来判别并提取最佳干涉位置。因此称这种方法为扫描白光干涉测量法。
测量原理
白光干涉仪测量方法1.点击xy复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；
5.设置好扫描方式和扫描范围；
6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；
7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；
8.根据被测物形状和尺寸，形状”栏选择“椭圆平面”，x和y方向按需设置；
9.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
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