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9.5.13 抗反射涂层ARC∈《集成电路产业全书》
antireflection coating
撰稿人:北京科华微电子材料有限公司 陈昕
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审稿人:复旦大学 邓海
https://www.fudan.edu.cn
9.5 光掩模和光刻胶材料
第9章 集成电路专用材料
《集成电路产业全书》下册
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