中科院上海技术物理研究所最新研究进展
中科院上海技术物理研究所在太赫兹量子级联激光器方面的研究进展
太赫兹量子级联激光器（thz-qcl）是材料科学、能带工程与微纳光子学的完美结合体，是太赫兹波段极具竞争力的紧凑型激光源。thz-qcl所特有的高功率、小型化以及易集成等优点令其在太赫兹成像、通信、物质检测、精密光谱分析、近场显微成像等领域具有重要的应用价值。
国际上，thz-qcl的最高工作温度已接近室温（250k）；液氮温度（77k）thz-qcl的峰值功率已达到1w以上，连续输出功率已达到10mw量级；77k时的激光频率连续调谐能力已达到~800ghz；经过稳频和锁相技术，激光线宽已压缩至1 hz量级；thz-qcl光频梳以及超短脉冲等方面的工作也已见诸报道。国内中科院半导体所、微系统所、上海技术物理研究所（上海技物所）以及工程物理研究院等单位也在thz-qcl领域取得令人振奋的进展。
上海技物所徐刚毅课题组致力于实现高性能可实用化的thz-qcl激光器和系统，并与国内外同行合作推广该激光器的实际应用。目前已取得的进展包括：
1）研制出2.5–5.0thz范围内多个频点的thz-qcl；
2）实现脉冲模式下大峰值功率、高光束质量的单模thz-qcl；
3）获得较大平均功率的单模thz-qcl；
4）获得连续激射的单模thz-qcl；
5）实现激光频率准连续可调的thz-qcl；
6）研制出集成thz-qcl、低温杜瓦或制冷机、驱动电源和控制软件的可实用化太赫兹激光系统。
分别介绍如下：
1
2 – 5 thz 范围内多个频点的thz-qcl
借助能带工程理论，我们在gaas/algaas多量子阱中通过精确设计势阱/势垒层的厚度、势垒高度以及外加电场，精细设计电子能级、波函数以及电子跃迁过程，从而实现对激光频率的控制。利用分子束外延技术获得所设计的上千层、每层厚度精度为0.1nm、晶体质量近乎完美的gaas/algaas超精细材料。课题组实现了多个频点的thz-qcl。不同thz-qcl的激光光谱归一化后的总和图。近似覆盖了2.7 – 4.9 thz的频率范围。激光器的最高工作温度在100k – 140 k之间。
2
大峰值功率、高光束质量的thz-qcl
为提高激光峰值功率，我们首次实现了thz-qcl激光器和放大器的单片集成。由激光器产生种子光源，经放大器功率放大后通过光栅耦合器辐射到自由空间。我们通过光子能带设计成功抑制了放大器的自激振荡；提出了放大器的增益饱和机制，并给出降低增益饱和的结构。
实验上获得了脉冲激射的大功率单模thz-qcl。单模激光的边模抑制比大于20db，激光频率可控。液氮温度（77k）时最高峰值功率达245mw，平均输出功率为 1 – 3 mw。
该器件具有较大的出光孔径，从而提高了光束准直性，光束聚焦后的束斑尺寸低至250um×260um。注：本文报道的激光功率均为太赫兹绝对功率计（tk power meter）直接测得的功率。
3
低功耗、大平均功率的thz-qcl
提高激光器的平均输出功率、降低器件的功耗对实现小型化激光器系统至关重要。为此我们提出了基于偶极天线阵列的thz-qcl谐振腔。单纯的偶极天线具有极高的辐射损耗，无法作为激光器的谐振腔。我们利用芯片键合技术在天线阵列下方置入反射镜，将偶极天线激发的反向传播的电磁场变成同向干涉，并控制干涉相位进而控制辐射效率。
我们提出的结构可以灵活控制激光辐射效率、提高散热效率、降低光束发散角。77k时的激光平均功率可达约6 mw。器件具有良好的单瓣光束，半高全宽为4.5°×16°。激光器呈现单模激射，边模抑制比大于20db。
4
连续工作的单模thz-qcl
连续工作的单模thz-qcl可以极大地提高激光频率和功率的稳定性，可以作为太赫兹波段的标准光源、外差探测的本振源，也可以应用在太赫兹近场光学中作为激光光源。实现激光器连续工作的关键在于降低阈值和功耗。我们在偶极天线阵列的基础上进一步提出光子异质结谐振腔：
1）减小泵浦区天线阵列的数目以降低功耗；
2）非泵浦区天线阵列比泵浦区有更大的光子禁带，由泵浦区产生的激光模式得到更好的局域，从而降低阈值。
实验上，我们获得了最高工作温度为79k的连续激射的单模thz-qcl，50k时的连续输出功率达到1.5mw。单模激光的边模抑制比大于20db；激光光束为单瓣，远场发散角14° × 22°。
5
频率连续可调的thz-qcl
thz-qcl在实际应用中面临的一个关键瓶颈是激光频率范围窄并难以调谐。与时域光谱（tds）技术相比，thz-qcl的优点是在单一频率下的辐射功率远超过tds，但激光频率范围远小于tds，而且单个thz-qcl的激光频率往往是固定的，调谐范围非常小。
在物质检测中，每种物质有特定的吸收谱线或者吸收带，只有当激光频率与吸收线/带重合时才能特异性地检出被测物质。而这要求激光频率可在较大范围内连续调谐。
我们在偶极天线谐振腔的基础上，进一步研制出激光频率连续可调的thz-qcl。我们在天线阵列中引入啁啾结构，通过天线宽度的递变实现激光频率递变。
典型器件的功率-电流-电压测试结果如图5所示，器件在77k时峰值功率约为5mw，光束发散角约21°×16°。图5（a）显示了单个激光器的出射光谱，激光频率准连续调谐的范围达到60ghz。
由于单个激光器的尺寸非常小（0.8 mm× 1.6 mm），可以将多个激光器集成在一个模块上，从而“拼接”出几百ghz乃至1thz以上的频率连续调谐范围，相关工作正在进行中。
相比于基于mems技术的频率可调谐thz-qcl，我们的器件不包含运动部件，操作更简单、更易于维护，而且频率稳定性更好。
6
实用化thz-qcl激光器系统
我们开发了2种制冷形式的thz-qcl激光器系统。第一种是液氮制冷：激光器封装在液氮杜瓦内，具有成本低、体积小、无机械振动、低噪声等优点，适合实验室环境并对光束质量要求高的应用场景。第二种是斯特林制冷：激光器封装在斯特林制冷机内，其优点是无需液氮，机械振动仅约10微米，可在实验室以外环境使用。我们还研发了thz-qcl激光器专用的脉冲驱动电源和控制软件。
课题组始终致力于高性能thz-qcl激光器的研制和应用推广。将持续提升激光器的关键性能，如激光器工作温度、激光功率、光束质量、光谱纯度、激光频率的稳定性以及调谐范围等。
将开发更便于使用、性价比更高的thz-qcl激光器系统。我们热忱地期待与更多学术界和产业界的朋友合作，为太赫兹科技的发展添砖加瓦。
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国际上，thz-qcl的最高工作温度已接近室温（250k）；液氮温度（77k）thz-qcl的峰值功率已达到1w以上，连续输出功率已达到10mw量级；77k时的激光频率连续调谐能力已达到~800ghz；经过稳频和锁相技术，激光线宽已压缩至1 hz量级；thz-qcl光频梳以及超短脉冲等方面的工作也已见诸报道。国内中科院半导体所、微系统所、上海技术物理研究所（上海技物所）以及工程物理研究院等单位也在thz-qcl领域取得令人振奋的进展。
上海技物所徐刚毅课题组致力于实现高性能可实用化的thz-qcl激光器和系统，并与国内外同行合作推广该激光器的实际应用。目前已取得的进展包括：
1）研制出2.5–5.0thz范围内多个频点的thz-qcl；
2）实现脉冲模式下大峰值功率、高光束质量的单模thz-qcl；
3）获得较大平均功率的单模thz-qcl；
4）获得连续激射的单模thz-qcl；
5）实现激光频率准连续可调的thz-qcl；
6）研制出集成thz-qcl、低温杜瓦或制冷机、驱动电源和控制软件的可实用化太赫兹激光系统。
分别介绍如下：
1
2 – 5 thz 范围内多个频点的thz-qcl
借助能带工程理论，我们在gaas/algaas多量子阱中通过精确设计势阱/势垒层的厚度、势垒高度以及外加电场，精细设计电子能级、波函数以及电子跃迁过程，从而实现对激光频率的控制。利用分子束外延技术获得所设计的上千层、每层厚度精度为0.1nm、晶体质量近乎完美的gaas/algaas超精细材料。课题组实现了多个频点的thz-qcl。不同thz-qcl的激光光谱归一化后的总和图。近似覆盖了2.7 – 4.9 thz的频率范围。激光器的最高工作温度在100k – 140 k之间。
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大峰值功率、高光束质量的thz-qcl
为提高激光峰值功率，我们首次实现了thz-qcl激光器和放大器的单片集成。由激光器产生种子光源，经放大器功率放大后通过光栅耦合器辐射到自由空间。我们通过光子能带设计成功抑制了放大器的自激振荡；提出了放大器的增益饱和机制，并给出降低增益饱和的结构。
实验上获得了脉冲激射的大功率单模thz-qcl。单模激光的边模抑制比大于20db，激光频率可控。液氮温度（77k）时最高峰值功率达245mw，平均输出功率为 1 – 3 mw。
该器件具有较大的出光孔径，从而提高了光束准直性，光束聚焦后的束斑尺寸低至250um×260um。注：本文报道的激光功率均为太赫兹绝对功率计（tk power meter）直接测得的功率。
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低功耗、大平均功率的thz-qcl
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6
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