基于MEMS技术的CO2传感器 主要检测CO2泄漏
日本特殊陶业展出了通过红外吸收型co2气体传感器，该传感器的主要用途是检测co2泄漏。使用co2的制冷机以家庭用途为开端开始普及。日本特殊陶业认为，这一趋势迟早会影响到汽车领域。但co2万一泄漏，就会充满车内，造成危险。吸入co2后人会发困，而且co2无味，很可能造成驾驶中不知不觉打盹的情况。与家庭用途相比，车内空间较为狭窄，因此危险性更高。
此次展出的传感器采用基于硅的mems技术，工作时会把空气吸入腔室并照射光。由于co2通常会吸收波长为4.2μm的光，因此，把工作在这一频带的光传感器和用于参照的工作在3.9μm频带的光传感器放在一起，当co2浓度上升，只有4.2μm的光会变弱，由此便可检测出有co2泄漏。在展会上，参观者可以对着该传感器吹气观察co2浓度的显示发生变化。
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