白光干涉仪的应用场景
中图仪器supervieww系列白光干涉仪采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。
如一张经由vcut微刻刀加工过的塑料薄片放到显微镜下，看到的是一面布满点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界。
使用中图仪器superview w1光学3d表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。
点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。
单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°，分布周期97µm；单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm，周期35µm。
supervieww系列三维轮廓测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
参数产品型号：superview w1系列
产品名称：光学3d表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学zoom：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
xy平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
z轴行程：100mm，电动
z向扫描范围：10mm
z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度rms重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
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单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°，分布周期97µm；单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm，周期35µm。
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