压电纳米定位台的功能特点及技术参数
p11.z100为小体积一维z向压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。
压电定位台的控制精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。
特点
一维z向运动
位移可达100μm
体积小巧
毫秒级响应时间
真空版本可选
闭环版本定位精度高 响应速度快
p11.z100压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天e00/e01、e52/e53等系列闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。
p11.z100系列压电纳米定位台的响应速度快，配套e52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。
宏微复合机构
p11.z100配套宏动机构，可组成毫米级行程，纳米级分辨率的宏微复合机构平台。
技术参数
型号：p11.z100
运动自由度：z
行程范围（0~120v）：80μm
行程范围（0~150v）：100μm
闭环传感器类型：sgs
闭/开环分辨：7/4nm
闭环线性度：0.05%f.s.
闭环重复定位精度：0.02%f.s.
俯仰/偏航/滚动：<10μrad
推/拉力：30/10n
运动方向刚度：0.3n/μm
空载谐振频率：0.3khz
闭/开环空载阶跃时间：10/0.8ms
承载能力：0.8kg
静电容量：1.8μf
材质：钢、铝
重量：100g
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