IMEC将下一代高分辨率EUV技术进行了商业化

12月1日,据日媒报道,比利时半导体研究机构 imec的ceo兼总裁luc van den hove在日本东京itf论坛上透露,通过与 asml的紧密合作将下一代高分辨率euv技术进行了商业化。
luc van den hove并公布了3nm及以下制程的微缩层面技术细节。截至目前,asml 已经布局了 3m、2nm、1.5nm、1nm 甚至 sub 1nm 的未来发展路线规划。
根据先前晶圆大工大厂台积电和三星电子介绍,从 7nm制程技术开始,部分制程技术已经推出了 na=0.33 的 euv 曝光设备,5nm制程技术也达成了频率的提升,但对于2nm以下的超精细制程技术,则还是需要能够达成更高的分辨率和更高 na (na=0.55) 的曝光设备。
对此,目前 asml 也已经完成了做为 nxe:5000 系列的高 na euv 曝光设备的基本设计,但商业化的时间则是预计最快在 2022 年左右。
该报道指出,包括日本在内的许多半导体公司已经退出了微缩化工艺,声称摩尔定律已经走到了尽头,或者称它成本过高且无利可图。
但asml过去一直与imec密切合作开发光刻技术,但为了开发使用高 na euv 曝光设备,asml在imec的园区内成立了新的“imec-asml 高 na euv 实验室”,以共同开发和使用高 na euv 曝光设备的相关技术。


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