传感器和MEMS之间的互帮互助
传感器发展的另一大特点是向着集成化、智能化方向发展。集成传感器的优势是传统传感器无法达到的，它不仅仅是一个简单的传感器，其将辅助电路中的元件与传感元件同时集成在一块芯片上，使之具有校准、补偿、自诊断和网络通信的功能，它可降低成本、增加产量。而智能化传感器是一种带微处理器的传感器，是微型计算机和传感器相结合的成果，它兼有检测、判断和信息处理功能，与传统传感器相比有很多特点，具有判断和信息处理功能，可实现多传感器多参数测量，有自诊断和自校准功能，测量数据可存取，且具有数据通信接口，能与微型计算机直接通信。把传感器、信号调节电路、单片机集成在一个芯片上形成超大规模集成化的高级智能传感器已经成为一个新的发展趋势。
传感器是一个接收和响应信号的装置。一个传感器的灵敏度显示指传感器的输出变化量变化时。传感器，测量小变化必须有非常高的敏感性。传感器也会影响他们的措施;例如，一个房间温度的温度计插入到一杯热液体到冷却液体而随液体改变的加热温度计。传感器需要设计一个影响测量的因素;使传感器能够改善，同时可能会引入其他的优势。技术进步使越来越多的传感器用来作为微传感器使用mems技术上的应用。先进的微机电系统（微电机械系统）技术意味着制造商现在能够产生非常准确的mems传感器和设备，但许多不能被直接安装到最终的应用程序，因为他们无法生存的严酷的最后组装上。相反地，传统的传感器可以生存在任何装配过程和任何应用程序，但太昂贵了。商业产品制造商的挑战是将mems价格和形成因素融合，然后包装成某种能够经受严酷的环境的产品。
今天，除了新方式来包装和集成mems器件，大部分工业创新和商业机会集中在应用程序的现有mems器件。mems传感器包括加速度计（acc）、陀螺仪（gyro）、磁力计（mag）、压力传感器（ps）和话筒（mic）。因为低成本，小尺寸，低功耗，高性能，mems传感器近几年来被集成到便携设备内。
快速的cpu、多任务处理的操作系统、高灵敏度gps接收器、3g/4g无线通信芯片组、高分辨率数字摄像头、触摸屏lcd显示屏和大容量存储器是智能手机的共同特性。mems传感器的用途不再局限于当前的应用领域，例如，屏幕旋转、省电、运动检测、数字罗盘和3d游戏。目前导航厂商正在开发更先进的mems传感器应用，例如，增强实境（ar）、定位服务（lbs）、行人航位推算系统（pdr）。
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