村田推出6轴3D MEMS惯性力传感器
株式会社村田制作所（以下简称本公司）研发了能支持要求达到asil d(1)的系统的6轴一体封装、3d mems惯性力传感器“scha600系列”（以下简称本产品），并计划于2020年12月底开始批量生产。
(1) 指automotive safety integrity level（车辆安全完整性等级）。一般按a < b < c < d的顺序，要求高水准安全措施。
近年来汽车行业因高级驾驶辅助系统（adas）的高精度化，需要在只靠全球卫星导航系统（gnss）无法定位的隧道里、桥梁下也能精确检测车辆位置的传感器技术。本产品充分运用本公司独家3d mems技术(2)，定位精确度能达到误差数十厘米的水准，为高级驾驶辅助系统（adas）、自动驾驶等各系统的高精度化做贡献。
(2) 即静电容量型3d mems (3维微机电系统)。将硅材料加工成3维结构，实现了传感器精度优异、组件尺寸小、功耗低。
产品的特点
1. 为车载系统高性能化和提高设计自由度做贡献
由独家3dmems结构，实现了优秀的偏压稳定性、低噪、高抗振性能
将3轴角速度和加速度一体封装，能够随意设置
2. 自我诊断功能(3)
失效安全功能是本产品的特点，它运用参考信号进行监控，检测通信异常、检验bit错误的校验以及饱和、超出额定范围等异常信号。已取得专利的本公司的自我诊断功能可以对mems元件内部工作情况至整个信号电路是否正常工作进行验证。
(3) 自我检测异常进行诊断，并通过输出进行通知的功能
3. 为车载系统的安全性做贡献
本6轴惯性力传感器符合asil d功能安全开发的iso26262符合aec-q100(4)标准
(4) automobile electronics council（汽车电子协会）规定的集成电路和ic的业界标准
主要技术规格
主要用途
本产品以环境条件严酷，需要更高性能传感器的下列用途为对象。
高级驾驶辅助系统（adas）
自动驾驶（ad）
车道保持辅助系统（lka）
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