日前,奥迪威在德国慕尼黑电子展(electronica 2022)发布pmut技术产品——mems超声波传感器aw101,与此同时,国内线上同步发布。
【慕尼黑展会现场】
线上发布会邀请了中山大学物理学院余向阳教授,奥迪威总经理张曙光先生等作为技术交流嘉宾,围绕pmut技术产品“mems超声波传感器aw101”进行了分享。
mems超声波传感器:aw101
mems超声波传感器aw101是将压电薄膜作为功能薄膜与硅基mems(微机电)相集成的新一代超声波传感器产品,通过晶圆级mems微纳工艺制造,单个芯片兼具超声波发射(tx)与接收(rx)复用功能。
【aw101产品外观】
aw101特点
aw101产品封装尺寸为 4.2*4.5*2 mm,多物体探测距离>1m。
【aw101尺寸图对比】
aw101工艺
aw101产品采用薄膜生长、刻蚀、一体化封装等mems制造技术,通过全自动设备生产,实现全自动封装测试;产品可用smt工艺回流贴装,生产效率高,且保障产品一致性及可靠性。
【aw101制造工艺】
aw101性能
mems超声波传感器aw101可作为收发一体使用,在5vop电压时,声压达到98db以上。aw101的视场广至180°全景覆盖,支持180°/45°定制调节。
更多优势
1、低压驱动低功耗远距离探测
aw101可实现低压驱动低功耗声压发射,在空气中实现远距离传播,适合中长距离的障碍物探测。
2、阵列化多频工作
aw101由于超小尺寸、一致性高等特点,可以在狭小的空间内设置更多形态频率阵列(如双频率阵列),为应用整机提供可重构工作模式。
3、封装可靠性高
aw101具备ip67防护等级,可用于室内室外工业等复杂环境。
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