高真空排气台密封性泄露检测
上海伯东某客户生产研发多工位高真空和超高真空排气台, 实现多工位同时抽真空的效果, 真空度需要稳定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系统在内的多个组件, 均需要进行密封性泄露测试, 以保证高真空性能. 经过上海伯东推荐真空系统核心组件分子泵选用德国 pfeiffer hipace 系列, 并使用无油干式氦质谱检漏仪 asm 340d 对整个排气台进行密封性检漏.
高真空排气台真空系统组成
* 涡轮分子泵 hipace 80, hipace 300, hicube 80 eco
分子泵型号
hipace 80
hipace 300
hicube 80 eco
(分子泵组, 集成前级泵)
图片
氮气抽速 l/s
67
260
67
极限真空 mbar
＜5x10-10
＜5x10-10
＜1x10-8
* 真空规: pkr 251, cmr 361
超高真空排气台检漏方法
排气台管路预留 kf 25 法兰(或在分子泵和前级泵间预留), 通过波纹管与氦质谱检漏仪 asm 340d 连接, 真空模式下, 漏率值设定为 10-7 mbar l/s. 用喷枪在怀疑有漏的部位进行吹扫. 如果超过设定的漏率值, 检漏仪会时时报警并显示当前漏率.
上海伯东销售维修无油干式氦质谱检漏仪 asm 340d 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损快速检漏的同时可以检测出更小的漏率 1x10-12 mbar l/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
型号
asm 340d
对氦气的最小检测漏率
1x10-12 mbar l/s
检测模式
真空模式和吸枪模式
检测气体
4he, 3he, h2
启动时间 min
3
对氦气的抽气速度 l/s
2.5
进气口最大压力 hpa
25
前级泵抽速 m3/h
无油隔膜泵 3.4
45
45
结合了 pfeiffer 与 adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 plc.
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪, 请联络上海伯东叶女士 分机107
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
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hicube 80 eco
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图片
氮气抽速 l/s
67
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67
极限真空 mbar
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＜5x10-10
＜1x10-8
* 真空规: pkr 251, cmr 361
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上海伯东销售维修无油干式氦质谱检漏仪 asm 340d 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损快速检漏的同时可以检测出更小的漏率 1x10-12 mbar l/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
型号
asm 340d
对氦气的最小检测漏率
1x10-12 mbar l/s
检测模式
真空模式和吸枪模式
检测气体
4he, 3he, h2
启动时间 min
3
对氦气的抽气速度 l/s
2.5
进气口最大压力 hpa
25
前级泵抽速 m3/h
无油隔膜泵 3.4
45
45
结合了 pfeiffer 与 adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 plc.
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪, 请联络上海伯东叶女士 分机107
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