MOSFET场效应晶体管设计基础

基本结构(0和1的定义)
mosfet是金属氧化物半导体场效应晶体管(metallic oxide semiconductor field effect transistor)的简称,有时候我们也会简写成mos。下面是一个典型的mosfet结构。
所有mosfet都有4个端口,栅极(gate)、漏极(drain)、源极(source)以及衬底(substrate)。一般来说衬底与源极可以连在一起,或接近于一个电势,所以画图时,我们有时候会省去衬底。
以上晶体管的剖面图,mos晶体管的源和漏从结构上是对称的,由所接的电压决定是源还是漏。栅下面源和漏之间的地方称为沟道,源和漏之间的距离为沟道的长度(l,channel length),而与长度对应的另一边则称为沟道的宽度(w,channel width)。假设nmos晶体管的源接地,漏接高电平,当栅电压在某个值(vt)以下,源和漏之间的沟道没有电流,晶体管不导通。当栅电压在某个值(vt)以上,源和漏之间的沟道反型,源区的电子被漏极的正电吸引产生电流,晶体管导通,电流从漏极流向源极。某个值(vt)则被称为阈值电压(threshould voltage)。
从mos晶体管的工作原理看,通过控制栅极电压,可以打开或关闭漏极与源极之间的电流通道,这就是mos管的开关特性。而数字电路的逻辑0与逻辑1的转换,也就可以利用这个开关特性来实现了。
一般来说我们将分别将接在栅极(gate)、漏极(drain)和源极(source)的电压称为vg、vd以及vs。漏极与源极的电压差叫做vds,栅极与源极的电压差叫做vgs。
nmos与pmos
根据注入掺杂不同,可以分为nmos和pmos。如果掺杂后为n+的器件,导通后主要以电子流动产生电流沟道,所以被称为n-channel mosfet,简称nmos。如果掺杂后为p+的器件,导通后主要以空穴流动产生电流沟道,所以被称为p-channel mosfet,简称pmos。
在画电路时,有很多种表示方式,都没有错。
增强型mosfet和耗尽型mosfet
mosfet实际上还可以分成增强型和耗尽型。
nmos 晶体管增强型vt>0,而耗尽型vt=vt时,沟道产生,如果此时vds
当vgs>=vt时,沟道产生,同时vds>=vgs-vt,那么随着vds的增加,沟道内的电流id,基本不会再随之增加,处于饱和状态,所以这个区域被称之为饱和区。
当vds大于源漏的击穿电压时,器件发生击穿,则进入击穿区。
pmos与nmos的传输特性曲线类似,但正好落在第三象限,也就是电压及电流的的方向刚好相反:
以上曲线满足的公式如下,其中因为pmos的电流和电压刚好为负数,其实只要取绝对值就可以了:
公式中:
ε0表示真空介质电容率,8.85e-14f/cm
εi表示栅介质相对介电常数
τ表示栅介质厚度
由这三个参数组成的cox表示为单位面积栅氧化层电容,对于同一工艺来说,是基本不变的。
w表示mosfet的沟道宽度,l表示mosfet的沟道长度。所以要提高驱动电流,无论是饱和还是不饱和状态下,一个较大的宽长比是非常重要的。这就像过马路,假设每个人(电子/空穴)过马路的速度一样,那么马路两边的距离(channel length)越短单位时间内能过马路的人就越多。同样的,如果马路越宽(channel width),同时过马路的人越多,单位时间内能够通过马路的人也就越多了越多。
罗马字母μ,表示电子或空穴迁移率(mobility)。需要注意的是,nmos是电子的迁移率,而pmos是空穴的迁移率,一般来说在同一个工艺下,nmos的电子迁移率是pmos的空穴迁移率的2~3倍,这个数据比较重要,将直接影响后续门电路的设计。
mosfet的电阻特性
电阻特性可以看成输入电压与电流之间的比值变化,因此对于一个mosfet来说,输入电压即为vgs,如果将vs看成0v,则vg为输入电压,电阻特性可以看作vg与电流的关系,比方说如下电路为vgs=vds,则,所以vg与id之间的曲线关系画在电路边上:
也因此mosfet可以被看成是一个active resistance(动态电阻)。
道法自然,追求平衡
数字电路设计工程师,基本上掌握mosfet的输出特性传输曲线及其公式中各参数的比例,就可以了,不是一定要非常了解其原理。
因为电流的大小,决定了电容充电的速度,也就是逻辑电平翻转的速度,当然也就决定了电路工作频率的高低。同时电流越大,则电路运行过程中产生的功耗越大。所以如果希望通过增加宽长比来获得更高的工作频率和性能,势必增加功耗与面积。
另一个方面,从公式看来,对电容充放电时,mosfet基本处于饱和区,供电电压的降低,是减少功耗非常有效的方法,但由于vt大体不变,所以电流的降低又会进一步影响工作频率。
由此可见,在芯片设计中我们会有一个定律,那就是当功能不变的情况下,成本、性能和功耗(ppa)会相互制约,此消彼长。所以一个好的数字集成电路工程师,不会追求极致,而是根据应用需要,选择往三角形的那一边偏移,寻求一个平衡点。这与道是一致的。
摩尔定律带来了什么?
摩尔定律直接的表现,就是工艺尺寸的优化,从0.18um,到0.13um,到90nm,到65(后来又shrink到55nm),再往后,一直到当前的3nm(实际沟道长度据说还是5nm)。
首先由工艺尺寸优化带来的最明显的变化,就是当功能不变时,mos尺寸减小,面积减少,成本得到优化,单位面积上晶体管数量也就可以增加了:
一般来说,每一个世代(generation)的最小线条尺寸,都是上一个世代的70%,比如0.18um是0.25um的70%,65nm是90nm的70%,这样做从面积上说,刚好是上一个世代的50%,也就是缩小一半。这就是代工厂每18个月要更新一个世代的原因,为了满足摩尔定律。
回到尺寸减小带来的面积减小。由于线条尺寸越来越小,沟道长度(channel length)也越来越小,氧化层厚度降低,由此带来一个问题,那就是击穿电压也降低了,为此只能降低供电电压(vds和vgs降低)。虽然vt也随着降低,但仍然是影响工作频率的主要因素。当然动态功耗得到优化。
其次,氧化层厚度减小,会带来越来越大的漏电电流,为了控制漏电电流,还是需要调整器件结构,提高vt。降低供电,提高vt,再次降低的工作频率,只得通过增加宽长比,用面积换取一定的性能。
不可否认,半导体制造工艺尺寸的降低,跟摩尔定律说的差不多,会带来面积的减少,性能的提高,但并不是线性的。随着线条越来越小,摩尔定律也逐步不听使唤,就算减少线条尺寸,但带来的收益并不是很高,同时还增加了大量的制造成本。所以业界逐步以应用更新替代摩尔定律,号称more than moore或者advanced moore,且一次又一次的被重新定义。
本文的限制
本文中的公式和大部分介绍,都是基于尺寸较大的工艺制程,且使用简单模型。实际设计中,还有很多需要考虑的问题,只是大方向不变。
随着工艺制程的进化,22nm以下,从16nm开始,mosfet结构就从平面结构转向纵向结构了,本文只是通过传统的平面结构mos管,做科普,这对于初入设计的前端工程师来说,已经可以用了。
finfet
finfet全称fin field-effect transistor,中文名叫鳍式场效应晶体管,是一种新的互补式金氧半导体晶体管。finfet命名根据晶体管的形状与鱼鳍的相似性。
finfet从16nm工艺开始出现,是一种纵向结构器件,与平面器件不同的是,栅极在两边夹住晶体管,使得沟道长度不变的情况下,沟道宽度增加了一倍,且从生产工艺上,更容易控制尺寸,规避了平面结构制造工艺上的缺陷。
gaafet
gaafet是(gate-all-around fets)采用的是纳米线沟道设计,沟道整个外轮廓都被栅极完全包裹,代表栅极对沟道的控制性更好。相比之下,传统的finfet 沟道仅3 面被栅极包围。gaafet 架构的晶体管提供比finfet 更好的静电特性,可满足某些栅极宽度的需求。这主要表现在同等尺寸结构下,gaa 的沟道控制能力强化,尺寸可以进一步微缩。
现在主要在3nm工艺下使用。
实际上gaafet 有两种结构,一种是使用纳米线(nanowire)作为电子晶体管鳍片的常见 gaafet;另一种则是以纳米片(nanosheet)形式出现的较厚鳍片的多桥通道场效应管 mbcfet,这两种方式都差不多。
其中 mbcfet 相比纳米线技术拥有更大的栅极接触面积,从而在性能、功耗控制上会更加出色。传统的 gaafet 工艺采用三层纳米线来构造晶体管,栅极比较薄,而mbcfet工艺使用纳米片构造晶体管,可以提供更低的工作电压、更高的电流效率(即驱动电流能力)和高度的设计灵活性。虽然mbcfet易于生产,且能承载更大电流,但栅控能力不够纳米线强。
现在国内在立体结构器件制造工艺上与国外还有较大的差距,而从16nm到3nm还有4个世代,如果按照摩尔定律来算,理想状态下,我们想达到国外的3nm工艺量产,还要6年。这6年,国外的技术又会发展到哪里?

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